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Contrôleur de débit de qualité

NégociableMise à jour sur12/13

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Vue d'ensemble

Le Contrôleur de Débit massique série V MFC est l'équipement utilisé pour contrôler avec précision le débit massique de gaz, MFC peut être appliqué à la fois dans le processus de fabrication de semi - conducteurs tels que etch, PVD, ALD, MOCVD, IMP et d'autres équipements, mais aussi dans l'énergie photovoltaïque, le revêtement sous vide et d'autres domaines ont un marché considérable. $R $nmfc peut efficacement fournir un meilleur taux grâce à un contrôle précis du débit de gaz.

Détails du produit

Contrôleur de débit de qualitéMFC série V

Contrôleur de débit de qualitéVg80 série MFC sont des pièces et composants pour le contrôle du Débit massique de gaz avec les caractéristiques suivantes1Pour:

Conception dute: conception dute avec "double valve + chute de pression + détection de position".
Performance youyue: vitesse de réponse rapide, temps de démarrage et d'arrêt ≤ 100ms; haute précision de mesure, jusqu'à ± 0,5% S.P.; Largeur de la plage de mesure, à 2 - 100% F.S.; Forte capacité d'auto - diagnostic et faible coût de maintenance.

Scénarios d'application:MFC peut être appliqué à la fois dans les processus de fabrication de semi - conducteurs tels que etch, PVD, ALD, MOCVD, IMP et d'autres équipements, ainsi que dans l'énergie photovoltaïque, le revêtement sous vide et d'autres domaines. Marché considérable.Le MFC peut fournir efficacement un meilleur rendement grâce à un contrôle précis du débit de gaz.

Cette série de produits peut être largement utilisée dans les équipements de processus tels que Etch (gravure), CVD (dépôt chimique en phase vapeur), PVD (dépôt physique en phase vapeur), ALD (dépôt de couche atomique), MOCVD (dépôt chimique en phase vapeur d'organométallique) dans la fabrication de semi - conducteurs, mais également dans des domaines tels que MPCVD (dépôt chimique en phase vapeur par plasma, micro - ondes et autres), décongélation et séchage thermiques, purification du quartz, élimination des déchets médicaux et autres.

质量流量控制器

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