Le Contrôleur de Débit massique MFC série P peut être appliqué à la fois dans le processus de fabrication de semi - conducteurs, tels que etch, PVD, ALD, MOCVD, IMP et autres équipements, ainsi que dans l'énergie photovoltaïque, le revêtement sous vide et d'autres domaines. Marché considérable. $R $nmfc peut efficacement fournir un meilleur taux grâce à un contrôle précis du débit de gaz.
Contrôleur de débit de qualitéSérie MFC p
Série P MFCContrôleur de débit de qualitéEst un appareil de haute performance et de fiabilité dans le domaine du contrôle du débit de gaz. Voici une introduction sur certaines de ses caractéristiques et aspects d'application:Avec une vanne unique améliorée + pression différentielle + détection de position conception précision de mesure ± ±. % S.P.(��% - ���% F.S.)Vitesse de réponse ≤ms(��% - ���% F.S.).
Contrôle de haute précision: adopte la technologie de détection avancée et l'algorithme de contrôle, capable de réaliser le contrôle de débit de masse de gaz de haute précision, peut contrôler l'erreur de mesure à un niveau inférieur, pour répondre à divers besoins de processus avec des exigences élevées de précision de débit2- Oui.
Réponse rapide: avec un temps de réponse plus court, capable de réagir rapidement aux changements de réglages de débit, d'ajuster rapidement le débit de gaz et d'assurer la stabilité et la cohérence du processus2- Oui.
Large gamme de mesure: large gamme de couverture, peut être adapté à différents scénarios d'application de petits débits à des débits plus importants, peut répondre aux différentes exigences de nombreux processus pour la taille du débit de gaz2- Oui.
Compatible multi - gaz: base de données multi - gaz intégrée, prend en charge de nombreux types de gaz différents, sans configuration manuelle complexe et conversion, peut facilement Commuter différents gaz pour le contrôle du débit2- Oui.
Bonne adaptabilité environnementale: adopte des matériaux et une conception de haute qualité, a une meilleure résistance à la corrosion et une capacité anti - interférence, peut travailler de manière stable dans différentes conditions environnementales et s'adapter à de nombreux environnements industriels2- Oui.
Opération et communication pratiques: Équipé d'une interface d'exploitation intuitive pour faciliter le réglage et la surveillance des paramètres par l'utilisateur, tout en prenant en charge de nombreux protocoles de communication, il peut être facilement intégré à la machine de montage ou à d'autres systèmes de contrôle pour permettre le fonctionnement à distance et le contrôle automatique.
Fabrication de semi - conducteurs: dans les processus semi - conducteurs tels que la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD), etc., le contrôle précis du débit des différents gaz de processus est essentiel pour garantir la qualité et la cohérence de la fabrication des puces. Par example, dans un procédé de gravure, le débit de gaz de gravure tels que le Tétrafluorure de carbone, l'hexafluorure de soufre, etc. est contrôlé avec précision, en veillant à ce que la réaction de gravure se déroule à un rythme et dans une direction prédéterminés; Dans le processus CVD, le débit de gaz réactifs tels que le Silane, l'ammoniac et d'autres est contrôlé avec précision pour garantir la composition chimique, l'épaisseur et la qualité du film déposé.
Médicaments biologiques: dans le domaine de la recherche et du développement de médicaments, de la biofermentation et d'autres domaines, il est utilisé pour contrôler avec précision le débit de divers gaz, tels que le contrôle de la proportion d'oxygène, de dioxyde de carbone et d'autres gaz dans le processus de culture cellulaire, afin de créer un environnement de croissance cellulaire approprié; Dans la production de médicaments, l'ajout précis de gaz réactifs à l'état de traces nécessite également un MFC de haute précision pour être réalisé.
Production chimique: dans la synthèse chimique, l'industrie chimique fine et d'autres processus, il est utilisé pour contrôler le débit de divers gaz réactifs et de gaz de charge, pour assurer le bon déroulement de la réaction chimique et la stabilité de la qualité du produit. Par exemple, dans certaines réactions de synthèse organique, le débit de gaz tels que l'hydrogène, l'azote, etc. est contrôlé avec précision pour réguler la vitesse et la sélectivité de la réaction.
Nouvelle énergie: dans le domaine des nouvelles énergies, telles que la production et les essais de piles à combustible, il est nécessaire de contrôler avec précision le débit de gaz tels que l'hydrogène, l'oxygène, etc., afin de garantir les performances et la stabilité de la pile à combustible; Dans le processus de fabrication des cellules solaires, MFC est également utilisé pour contrôler le flux de gaz de processus.
