Contrôleur de Débit massique MFC série T MFC avec capteur thermique + électrovanne à basse température + technologie de détection de pression $R $N pour répondre à la précision de mesure principale ≤ 1,0% P.S. (25% - 100% P.S.) $R $N répétabilité pour les produits de l'industrie en cause (≤ 0,2% P.S.)
Contrôleur de Débit massique MFCMFC série T
Avec capteur thermique + électrovanne à basse température + technologie de détection de pressionRépond à la précision de mesure dominante ≤ ± 1,0% S.P. (25% - 100% F.S.) répétabilité pour les produits de l'industrie en question (≤ ± 0,2% F.S.).
Principe de mesure thermique: l'utilisation de deux capteurs de température, l'un mesurant la température initiale du gaz et l'autre la température du gaz après chauffage, améliore la précision de la mesure en calculant la différence de température et en combinant la capacité thermique spécifique du gaz pour calculer avec précision le débit massique du gaz sans compensation des variations de pression et de température1- Oui.
Principe de mesure différentielle de pression: le débit volumique du gaz est calculé par la mesure en temps réel de la différence de pression générée par le capteur de débit différentiel de pression lors du passage du gaz à travers l'élément d'étranglement, la vanne de commande en fonction de la mesure du capteur de débit et de la rétroaction, ajuste précisément l'ouverture pour s'assurer que le débit de gaz à travers le MFC correspond à la valeur prédéfinie2- Oui.
Mesure de haute précision: adoptez la technologie de capteur avancée et le processus de fabrication, capable de réaliser la mesure et le contrôle de débit de gaz de haute précision, l'erreur de mesure peut être aussi bas que ± 0,5% de lecture, la répétabilité atteint ± 0,1%, pour répondre aux exigences strictes des fluctuations de débit à l'échelle nanométrique Dans des domaines tels que les semi - conducteurs gaoduan3- Oui.
Réponse rapide: Equipé d'un contrôleur PID et d'une électrovanne haute vitesse, ces composants sont capables de corriger les écarts de débit dans un temps de l'ordre de la milliseconde, le temps de réponse est généralement inférieur à 100 MS, peut répondre à divers changements dynamiques dans le temps, assurer la stabilité du débit1- Oui.
Large gamme de mesure: large gamme de couverture, de petits débits à des scénarios à haut débit peuvent être adaptés, par exemple, peut couvrir une gamme de 0,1 SCCM à 20000 slpm, répondre aux besoins de différents scénarios d'application3- Oui.
Compatible multi - gaz: prend en charge la mesure précise et le contrôle de nombreux gaz, tels que n₂, AR, h₂, sih₄, nh₃, cf₄ et d'autres gaz courants, peuvent être utilisés par la technologie d'étalonnage Multi - gaz pour assurer une haute précision lors de la mesure de différents gaz14- Oui.
Bonne stabilité: les composants clés tels que les capteurs et les éléments chauffants utilisent généralement une technologie de contrôle thermostatique qui réduit l'impact de la dérive de température sur la précision de la mesure. Dans le même temps, le processus de soudage au laser est utilisé pour fabriquer le canal d'écoulement, ce qui évite efficacement l'apparition du phénomène de fuite, garantissant ainsi la précision et la stabilité à long terme des résultats de mesure.1- Oui.
Plusieurs interfaces de communication: Equipé de RS485, Profibus et d'autres interfaces de communication, prend en charge l'écran tactile pour afficher en temps réel les paramètres tels que la température, la pression, l'état standard / débit de condition de travail, ce qui facilite l'utilisation et la surveillance à distance par l'utilisateur, peut être intégré à divers systèmes de contrôle automatique3- Oui.
Semi - conducteurs et fabrication électronique: contrôle précis du débit des gaz réactifs pour assurer la stabilité du processus et les performances de la puce dans des processus tels que le traitement de la plaquette, le dépôt de film mince (CVD / PVD) et la gravure (Etching).
Industrie chimique et pharmaceutique: utilisé pour contrôler le débit de gaz dans le réacteur, tels que o₂, co₂, etc., lors de réactions chimiques, en optimisant la vitesse de réaction et la qualité du produit.
Nouvelles énergies et production de piles à combustible: régule le débit d'entrée d'hydrogène et d'oxygène, optimise l'efficacité de la réaction électrochimique et la puissance de sortie de la batterie, mais peut également être utilisé pour contrôler la séparation et le débit d'oxygène et d'hydrogène lors de l'électrolyse, ainsi que pour gérer le débit de gaz lors de la capture et de La compression du co₂.
Surveillance environnementale et laboratoire: fournit le débit de gaz standard pour le chromatographe en phase gazeuse (GC), le spectromètre de masse (MS) et d'autres équipements, peut également être utilisé pour contrôler avec précision le débit d'échantillonnage de gaz de l'équipement de surveillance de l'environnement, tels que les pm2,5, la détection des COV, etc.
