Dans les domaines de précision tels que l'encapsulation de puce semi - conductrice, l'usinage d'écran en verre électronique 3c, la fabrication de composants optiques, la hauteur maximale du contour rz en tant que paramètre clé pour mesurer le micro - relief de la surface est une question d'examen obligatoire dans la détection de la production de nombreuses entreprises.

Lorsque rz au niveau du collage de la puce dépasse 0,5 µm, cela peut entraîner une défaillance du collage;

Lorsque le rz de l'écran en verre du téléphone est inférieur à 0,02 μm, il affecte également la sensibilité tactile et l'adhérence du revêtement anti - empreintes digitales.

I. La rugosité invisible devient le tueur invisible de la performance et de la performance

La mesure par contact traditionnelle est facile à rayer sur les surfaces de précision, la mesure à point unique est difficile à refléter pleinement l'état réel des surfaces complexes, tandis que les paramètres de rugosité bidimensionnelle tels que ra, bien que répandus, ne peuvent pas caractériser la surface de contact réelle et les caractéristiques fonctionnelles. Ces points douloureux permettent aux entreprises de frapper le mur à plusieurs reprises avant de contrôler avec précision le besoin de rz.

Comme dans la fabrication de roulements, le simple contrôle de la valeur moyenne de ra peut entraîner la non - détection de pics localisés, ce qui entraîne une usure prématurée du roulement à grande vitesse; Avant le revêtement de la lentille optique, si la profondeur des creux (valleys) du matériau de base n'est pas évaluée efficacement, l'adhérence du revêtement sera directement insuffisante. À ce stade, rz (hauteur moyenne des pics et des vallées) sert d'indicateur d'évaluation de base dans le profil de surface tridimensionnel pour capturer précisément ces caractéristiques locales clés.

II. Comment utiliser le profilomètre 3D optique pour contrôler avec précision rz et résoudre le problème de la qualité de surface de fabrication de précision?

Les Profilomètres de surface 3D optiques de la série superview W1 offrent une solution tout - en - un de « mesure de précision rz + adaptation de champ complet» avec la technologie d'interférence de lumière blanche au cœur. Son paramètre d'évaluation de base rz (correspondant au paramètre Sz dans l'ISO 25178) est défini comme la moyenne des distances verticales entre les cinq pics les plus hauts et les cinq creux les plus bas dans la zone évaluée. Contrairement à ra, qui ne reflète que l'écart moyen arithmétique, rz capture plus précisément les fluctuations des pics et des vallées, associant directement les performances clés telles que le risque de fuite du joint, l'uniformité du revêtement, l'adhérence après pulvérisation, etc.

Contrairement à la seule limitation fonctionnelle de l'équipement traditionnel, l'appareil brise les contradictions de « précision et efficacité» et de « protection et détection» dès le principe de la mesure:

1, par le balayage interférométrique de lumière blanche sans contact, aucun contact avec la surface de l'échantillon peut capturer le profil microscopique à l'échelle nanométrique, évitant les dommages causés par la mesure de contact aux pièces fragiles telles que les plaquettes semi - conductrices, les lentilles optiques et autres;

Dans le même temps, le module Z - to - scan de précision et l'algorithme de modélisation 3D embarqués dans l'appareil peuvent transformer les données numérisées en une image de surface 3D intuitive, puis calculer automatiquement la valeur de rz via le logiciel système - sa rugosité RMS répétabilité peut atteindre 0005 nm, la précision de mesure des étapes est de seulement 0,3%, même la surface de la plaque de silicium ultra - lisse de 0,2 nm, l'écart de données rz mesuré 10 fois de suite peut être contrôlé de manière stable dans une petite plage, résolvant l'incertitude de l'équipement traditionnel et les points sensibles aux dommages.

Focus sur les avantages techniques:

1, mesure de champ complet, données sans omission: un balayage peut obtenir des millions de points de données, évaluer complètement toute la zone, éviter les erreurs accidentelles d'échantillonnage à point unique;

Restauration de la topographie 3D réelle: présentation intuitive de la texture de surface, de la distribution des défauts et des caractéristiques fonctionnelles par le biais de diagrammes 3D et d'autres graphiques élevés, de pseudo - diagrammes de couleur;

Iii. Vérification de la mise en scène

1, dans des scénarios d'application pratique, la « capacité d'adaptation scénographique» du profilomètre de surface optique 3D amplifie encore la valeur de la mesure rz.

(1) en réponse au problème de la « faible efficacité de détection rz des plaquettes en vrac» dans la fabrication de semi - conducteurs, l'équipement supervieww prend en charge la fonction de mesure automatique multi - zones - le personnel n'a qu'à prérégler le point de mesure de la matrice carrée ou circulaire pour effectuer le balayage automatique rz de dizaines de plaquettes avec enregistrement de données en un clic, ce qui augmente l'efficacité de la mesure manuelle unique de plus de 8 fois;

(2) dans la détection rz de l'écran en verre électronique 3c, en raison de la surface du verre transparent et sensible aux vibrations environnementales, la base d'isolation vibratoire flottante de l'équipement peut isoler efficacement le bruit de vibration conduit par le sol, en conjonction avec la résolution de 0,1 nm de la fonction d'évaluation du bruit ambiant, peut surveiller en temps réel l'impact des interférences extérieures sur la mesure rz et assurer la stabilité des données rz sur la surface de l'écran en verre;

(3) pour les lentilles optiques et autres pièces nécessitant une analyse rz de haute précision, le module d'analyse de rugosité fourni par l'équipement peut combiner les quatre normes ISO / ASME / eur / GBT pour produire un rapport d'analyse contenant plus de 300 paramètres tels que RZ, ra, RQ, etc., afin d'aider Les ingénieurs à déterminer avec précision si la qualité du traitement de surface de la lentille est conforme aux exigences de conception.

Pour vérifier la fiabilité des mesures RZ, la série superview W1 a passé des tests rigoureux d'étalonnage en laboratoire et d'application industrielle. (1) la répétabilité rz STDDEV de 10 mesures consécutives de l'appareil est contrôlée à 0005 nm près dans les mesures sur plaque de silicium effectuées conformément à la norme internationale ISO 25178;

(2) lors de la mesure d’un bloc standard de 5 μm (selon la norme ISO 10610 - 1: 2009), la précision de la hauteur de l’étape rz est de 0,3% et la répétabilité de seulement 0,08% (1σ), des données qui dépassent non seulement la moyenne de l’industrie, mais fournissent également une base Quantitative traçable pour le contrôle de la qualité des entreprises.

(3) la conception de protection anticollision à double objectif de l'équipement - protection de la position inférieure du logiciel zstop avec rétraction élastique de la structure du ressort de l'objectif - fournit également une garantie pour la sécurité de la mesure RZ, même lorsque l'erreur de fonctionnement manuel provoque l'objectif à proximité de la pièce à usiner, l'équipement peut entrer instantanément dans un état d'arrêt d'urgence, éviter les dommages à la lentille et à la pièce à usiner, réduire les coûts de maintenance de l'équipement et les pertes de production de l'entreprise.

Conclusion: Ouvrez votre diagnostic profond de qualité de surface

Avec l'industrie 4.0 en profondeur, l'évaluation de la qualité de surface subit une triple transformation de la fonctionnalisation paramétrique, de l'intelligence des données et du contrôle de la qualité de l'ensemble du processus. Le profilomètre de surface 3D optique résout non seulement les problèmes actuels de précision, d'efficacité et de sécurité de l'entreprise dans la mesure RZ, mais permet également un interfaçage sans faille des données de mesure rz avec le système mes de production grâce à des fonctions telles que la mesure programmable, l'analyse de données par lots, l'exportation de rapports multi - formats. Cette extension de valeur allant de la détection d'un point unique à la gestion de l'ensemble du processus est le principal avantage de l'équipement par rapport aux instruments de mesure traditionnels.

Si votre pièce de précision rz a une faible efficacité de mesure, des données instables, des pièces sujettes à des dommages, etc., la source est peut - être cachée dans un micromonde de surface mal compris.