Table d'évaporation série ulvac ei - 5Z

NégociableMise à jour sur03/19

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Principaux paramètres techniques:

Détails du produit

Introduction au produit:

ULVAC ei-5zL'équipement de revêtement d'évaporation sous vide élevé de série est une table d'évaporation multifonctionnelle qui peut être installée simultanément pour l'évaporation par faisceau d'électrons et la source d'évaporation thermique, peut être utilisée pour divers métaux, alliages, revêtement d'évaporation non métallique, peut être utilisé pour le processus d'évaporation à incidence verticale, peut être utilisé pour la conception de type mural, adopte un contrôle entièrement automatique, stable et efficace

Principaux paramètres techniques:

· convient pour 2 - 8inch diverses formes de si, GaAs, vitrocéramique et autres substrats;

· avec pompe à basse altitude, peut atteindre 3,0 * 10 en 20min^-4Pa， Pression limite jusqu'à3,0 * 10^-5Pa ou moins;

· utilisant un faisceau d'électrons ou une source de vaporisation thermique, commune aux chicanes;

· l'uniformité de l'épaisseur du film est meilleure que ± 5%;

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