Débitmètre de contrôleur de Débit massique Seven stars huagang

Débitmètre de contrôleur de Débit massique Seven stars huagang

Manuel d'utilisation des contrôleurs de Débit massique et des débitmètres massiques 1. Cher utilisateur, merci d'avoir acheté ce produit d07 Series Mass Flow Controller / Mass Flow Meter de cette entreprise. Ce manuel décrit en détail ce qui est nécessaire pour une utilisation correcte et sûre des produits de la gamme. L'utilisateur du produit, s'il vous plaît assurez - vous de consulter attentivement ce manuel et de comprendre l'utilisation ultérieure, pendant l'utilisation, faites attention au texte avec le logo et à tous les éléments contenus dans les précautions. La société se réserve le droit de ne pas être tenue responsable des dommages matériels ou corporels causés par une utilisation non conforme au Manuel d'utilisation. Conservez ce manuel en bon état lors de son installation, de son entretien et de sa réparation. Le débitmètre massique (Mass Flow Meter en abrégé MFM) est utilisé pour effectuer des mesures précises du Débit massique d'un gaz; Le Contrôleur de Débit massique (Mass Flow Controller en abrégé MFC) est utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le débit massique d'un gaz. Ils ont des applications importantes dans la recherche scientifique et la production dans de nombreux domaines tels que l'industrie microélectronique des semi - conducteurs, le développement de matériaux spéciaux, l'industrie chimique, l'industrie pétrolière, la médecine, la protection de l'environnement et le vide. Ses applications typiques comprennent: les équipements de processus électroniques tels que la diffusion, l'oxydation, l'épitaxie, CVD、 Gravure plasma, pulvérisation, implantation ionique; Ainsi que les équipements de revêtement sous vide, la fusion de fibres optiques, les unités de microréaction, les systèmes de distribution de gaz mélangés, les mesures capillaires, les chromatographes en phase gazeuse et d'autres instruments d'analyse. Le Contrôleur de Débit massique et le débitmètre massique de la série d07 ont des caractéristiques telles que la haute précision, la bonne répétabilité, la vitesse de réponse rapide, le démarrage en douceur, la stabilité et la fiabilité, la large plage de pression de fonctionnement (peut fonctionner sous haute pression ou sous vide), son fonctionnement est facile à utiliser, peut être installé n'importe où et est facile à connecter à l'ordinateur pour réaliser le contrôle automatique. Le Contrôleur de Débit massique de la série d07 et le débitmètre massique sont généralement utilisés avec des produits tels que l'afficheur de débit de la série D08, le Contrôleur et l'afficheur sont reliés par un câble spécial

Débitmètre de contrôleur de Débit massique Seven stars huagang

3. Principaux indicateurs techniques Tableau 1. Modèle d07 - 19b indicateur de performance MFC numéro d'article d07 - 19b1 spécification de débit (0 ~ 5,10,20,30,50100200300500) SCCM (0 ~ 5,2,3,5,10,20,30) précision slm2 ± 1% FS (20,30slm: ± 2% FS) 3 linéaire ± 0,5% FS (20,30slm: ± 2% FS) 4 précision de répétition ± 0,2% FS (20,30slm: ± 2% FS) 5 temps de réponse ≤ 2 sec6 plage de pression différentielle de fonctionnement ≤ 10 SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 Pression de fonctionnement maximale 1 mpa8 résistance à la tension 3 MPa (435,1 psig) 9 température ambiante de fonctionnement 5 ℃ ~ 45 ℃ 10 signal d'entrée - sortie 0 V ~ + 5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K, courant de sortie non supérieur à 3 ma) 11 alimentation + 15 v 50 mA; - 15V 200 ma12 dimensions hors tout voir figure 413 poids 0,95 kg Remarque: les débitmètres massiques et les régulateurs de Débit massique sont généralement étalonnés à l'azote (n2) en usine. L'unité de Débit massique est spécifiée comme suit: SCCM (millilitre standard / minute); SLM (litre / minute standard) l'état standard est spécifié comme: température - - - 273,15 K (0 ℃); Pression d'air - 101325 Pa (760 mm Hg) dans le Centre de produit MFC / MFM du débitmètre à sept étoiles, les unités SCCM et "ml / min, 0 ℃, 1 atm" sont équivalentes, les unités SLM et "L / min, 0 ℃, 1 atm" sont équivalentes. Page 4 sur 28 F.S. (Full scale): tableau des valeurs de pleine échelle 2. Indicateur de performance MFM de type d07 - 19bm numéro d'article d07 - 19bm1 spécification de débit (0 ~ 5,10,20,30,50100200300500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10,20,30) précision slm2 ± 1% F.S. (20,30slm: ± 2% F.S.) 3 linéaire ± 0,5% F.S. (20,30slm: ± 2% F.S.) 4 précision de répétition ± 0,2% F.S. 5 temps de réponse ≤ 2sec6 chute de pression < 0,02 MPS a (2,9 psid) 7 pression maximale de fonctionnement 1 mpa8 résistance à la tension 10 MPa (1450,4 psig) 9 température ambiante de fonctionnement 5 ℃ ~ 45 ℃ 10 signal de sortie 0 V ~ + 5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K, courant de sortie non supérieur à 3 ma) 11 alimentation + 15 v 50 ma - 15 v 50 ma 12 dimensions hors tout voir figure 413 poids 0,7 kg les principaux indicateurs techniques des produits de chaque modèle sont présentés dans les tableaux 1 et 2. Le modèle d07 - 19bm est la Section de mesure de débit du modèle d07 - 19B, le MFM du même type est le même indicateur technique que le MFC dans la Section de mesure de débit. 4. Structure et principe de fonctionnement 4.1 Le débitmètre massique structurel se compose de composants tels que le capteur de débit, le canal de dérivation et le circuit d'amplification de débit; Sur la base du débitmètre massique, plus la vanne de régulation et le circuit de commande PID constituent le régulateur de Débit massique. Contrôleur de Débit massique de type d07 - 19B, la structure après ouverture du capot externe est représentée à la figure 2.