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Shenzhen Zhongtu Instrument Co., Ltd
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Système de mesure d'épaisseur de disque sans diagramme

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Vue d'ensemble
Système de mesure d'épaisseur de plaque sans diagramme wd4000 1 appareil pour effectuer des mesures paramétriques complètes d'épaisseur, de topographie tridimensionnelle et de rugosité pour la fabrication de substrats, la fabrication de plaques, la détection de processus d'emballage, l'écran en verre électronique 3C et les accessoires de précision, le traitement optique, les panneaux d'affichage, les dispositifs MEMS et d'autres domaines de traitement ultra - précis.
Détails du produit

Instrument de la carte centrale wd4000Système de mesure d'épaisseur de disque sans diagramme1 appareil pour résoudre l'épaisseur, la topographie tridimensionnelle, la rugosité mesure paramétrique complète, dites adieu à l'ajustement fastidieux de plusieurs appareils, conciliant haute précision et haute efficacité, adapté aux besoins de détection ultra - précis de plusieurs industries.

无图晶圆厚度量测系统

I. avantages du produit

1. Mesure de haute précision, données fiables

(1) technologie d'interférométrie confocale spectrale + lumière blanche, résolution Z jusqu'à 0,1 nm, mesure d'altitude locale à l'échelle subnanométrique, pour répondre aux besoins de détection de pièces à l'échelle nanométrique à micrométrique.

(2) Soutien semi / ISO / ASME / eur / GBT quatre normes plus de 300 évaluations de paramètres, les résultats de mesure sont traçables.

2, grande vitesse de voyage, adapté aux pièces Multi - spécifications

(1) 400x400x75mm structure de portique de grande course, vitesse de déplacement maximale 500mm / s, efficacité de détection doublée.

(2) compatible avec le disque de 12 pouces maximum, avec la ventouse à vide enduite de décharge électrostatique, adaptée à de nombreuses pièces de surface telles que lisse / rugueuse, faible / haute réflectivité.

3, stable et anti - interférence, opération sans souci

(1) Base de granit + conception d'isolation vibratoire, résistant aux vibrations du sol et des ondes sonores, excellente répétabilité de la mesure.

(2) Double prévention des collisions + commutateur d'objectif électrique + poignée de manoeuvre XYZ, simplifiez le processus d'exploitation, réduisez le risque de mauvaise utilisation et réduisez le coût de la formation.

4. Automatisation intelligente, adaptée au pipeline industriel

(1) Mapping suit la technologie + positionnement de point de marque de vision industrielle, prend en charge la mesure automatique multipoint, ligne, face, le mode CNC est compatible avec l'entrée de pistolet de balayage.

(2) la pince virtuelle redresse l'échantillon, peut réaliser la détection automatique continue de topographie multipoint, adaptée au scénario de production en série.

无图晶圆厚度量测系统


II. Fonctions de base

1, mesure sans contact: évitez de rayer la surface de la pièce de précision comme le carbure de silicium, le saphir, le silicium, etc., pour protéger l'intégrité de la pièce à mesurer.

2, conception intégrée tout - en - un: pas besoin de commutation de plusieurs appareils, épaisseur de finition synchrone, TTV、LTV、BOW、WARP、 Mesure de la rugosité et de la topographie 3D pour économiser sur le site et les coûts d'entrée.

3, fonction de logiciel de mesure gestion des données + analyse + Docking processus complet:

(1) mesure et analyse entièrement fonctionnelles

① couvre l'épaisseur, la topographie tridimensionnelle, la rugosité, le profil géométrique et d'autres besoins de mesure de base, prend en charge la hauteur des marches, l'angle, la courbure et d'autres mesures caractéristiques et l'évaluation de la tolérance de forme.

② cinq modules d'analyse intégrés, y compris l'analyse de rugosité ISO standard, les statistiques de volume de trou, l'analyse de fréquence, etc., répondent aux besoins de détection de profondeur.

(2) gestion efficace des données

① gestion centralisée des enregistrements de mesure, support par modèle de pièce, date de détection, Code d'identification et autres requêtes multidimensionnelles, traçabilité facile.

② prend en charge l'importation de rapports txt dans le BIT de point à mesurer, sans saisie manuelle, améliorant l'efficacité de détection.

(3) sortie flexible et Docking

① produire des rapports Excel / word / txt / SPC avec des graphiques Mapping, des graphiques de contrôle et des statistiques telles que ca / PPK / CPK pour répondre aux besoins de contrôle de la qualité.

② compatible avec la transmission sec / mes, prend en charge l'amarrage de données à distance personnalisé, s'intègre parfaitement dans le système de production existant de l'usine.


Iii. Domaines d'application

du WD4000Système de mesure d'épaisseur de disque sans diagrammeUtilisé dans la fabrication de substrats, la fabrication de plaquettes, la détection de processus d'encapsulation, les écrans en verre électroniques 3C et les accessoires de précision, l'usinage optique, les panneaux d'affichage, les dispositifs MEMS et d'autres domaines d'usinage ultra - précis.

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Remarque: les paramètres du produit peuvent être mis à jour en temps réel en fonction de la mise à niveau technique, en fonction de la configuration la plus récente, les détails peuvent être consultés par le service client pour obtenir des informations complètes.