Marque de stepper à film mince

Instrument de la série NSMarque de stepper à film mincePrécision Sub - angström, adaptation Multi - scènes et fonctionnement intelligent pour mesurer avec précision la hauteur des marches (nanomètres à 1050 μm), la rugosité de surface (paramètres ra, RZ, etc.), l'épaisseur de la couche de film et la répartition des contraintes, fournissant un support de données fiable pour la recherche et le développement de matériaux, l'optimisation des processus et le contrôle de la qualité.

I. fonctions du produit

1, fonction de mesure paramétrique

(1) hauteur d'étape: capable de mesurer la hauteur d'étape du nanomètre à 330 μm ou 1050 μm, peut mesurer avec précision la gravure, la pulvérisation, SIMS、 Matériaux déposés ou éliminés lors de procédés tels que dépôt, Spin Coating, CMP, etc.

(2) rugosité et ondulation: capable de mesurer la rugosité et l'ondulation de l'échantillon, le logiciel d'analyse peut acquérir des dizaines de paramètres tels que ra, RMS, RV, RP, rz liés à la rugosité et à l'ondulation en calculant la courbe de profil microscopique balayée.

(3) mesure de contrainte: peut mesurer la contrainte de surface de nombreux matériaux.

2, mode de mesure et fonction d'analyse

(1) mode de mesure à zone unique: lorsque vous avez terminé Focus, vous pouvez commencer à mesurer en définissant le point de départ et la longueur de numérisation en fonction de la carte de navigation de l'image.

(2) mode de mesure Multi - zones: après avoir terminé Focus, selon la carte de navigation de l'image pour compléter le réglage de la trajectoire de balayage d'une seule zone, vous pouvez former un ensemble de plusieurs à des dizaines de centaines de trajectoires de balayage en fonction de la distance latérale et longitudinale, un clic peut compléter la mesure automatique de tous les trajectoires de balayage.

(3) mode de mesure 3D: une fois Focus terminé, le réglage du chemin de balayage d'une seule zone est effectué conformément à la carte de navigation de l'image, et le réglage de l'ensemble de la zone de surface de balayage peut être effectué en fonction de la largeur de la zone de balayage souhaitée ou de L'espacement et du nombre de lignes de balayage, ce qui permet d'effectuer automatiquement le balayage et la reconstruction de l'image 3D de l'ensemble de la zone de surface de balayage

(4) Analyse statistique SPC: prend en charge l'analyse de plusieurs paramètres d'indicateur pour différents types de pièces testées, fournit des graphiques SPC pour les données de mesure de l'échantillon de masse pour les tendances changeantes des données statistiques.

3, double fonction d'image optique de navigation

Les modèles ns200 - D sont équipés d'une caméra couleur de 500 W pixels à vision directe ou oblique, qui définit avec précision la trajectoire de numérisation dans le système d'imagerie de navigation à vision directe et assure le suivi en temps réel de la trajectoire de numérisation dans le système d'imagerie de navigation à vision oblique.

4, fonction de changement d'aiguille rapide

L'aiguille de mesure à aspiration magnétique a été adoptée, l'aiguille de mesure à balayage peut être rapidement remplacée sur site lorsque l'opération de changement d'aiguille doit être effectuée et étalonnée rapidement selon le module d'étalonnage dans le logiciel, assurant la précision et la répétabilité après le changement d'aiguille, réduisant les tracas de maintenance.

II. Domaines d'application

Série NSMarque de stepper à film minceLe scénario d'application est adaptable, il n'a pas d'exigences particulières pour les caractéristiques de réflectivité, les types de matériaux et la dureté des échantillons testés, peut être largement utilisé dans divers domaines industriels tels que les semi - conducteurs, le photovoltaïque solaire, le traitement optique, les LED, les dispositifs MEMS, la préparation de micro et nanomatériaux, les entreprises industrielles et les universités et autres unités de recherche scientifique, sa caractérisation précise des paramètres de la topographie microscopique de la surface, pour l'évaluation des matériaux pertinents, l'analyse des performances et l'amélioration du processus de traitement.

Iii. Scénarios d'application

Fabrication de semi - conducteurs: mesure de l'épaisseur du film déposé / gravé, détection de la planéité du processus CMP, analyse de la hauteur des marches de résine, amélioration de la performance de la puce assistée.

Panneaux photovoltaïques et d'affichage: détection d'épaisseur de film de revêtement solaire, analyse de Microstructure d'écran AMOLED, mesure de trace de cuivre de panneau tactile, module photovoltaïque adapté et demande de production de pièces d'affichage.

MEMS et micro et nanomatériaux: caractérisation de la topographie du micro - capteur, détection d'épaisseur de film mince électronique flexible, soutien de la recherche et du développement de micro et nanodispositifs et contrôle de la qualité de la production de masse.

4. Recherche scientifique et Université: analyse des contraintes de surface des matériaux, support de données de recherche et développement de processus de micro - usinage, accélération des projets de recherche scientifique.

Iv. Environnement d'utilisation

Humidité relative: humidité (sans condensation) 30 - 40% HR

Température: 16 - 25 ℃ (variation de température inférieure à 2 ℃ par heure)

Vibrations au sol: 6,35 μm / S (1 - 100 Hz)

Bruit audio: ≤80db

Flux laminaire d'air: ≤ 0508 M / S (flux descendant)

Pour personnaliser le Protocole de mesure pour votre scénario d'industrie, obtenir des paramètres détaillés ou demander un test d'échantillon, n'hésitez pas à contacter Zhongdu instruments, nous vous fournirons un support technique professionnel et un service de conseil!

(Remarque: les paramètres et fonctionnalités du produit peuvent être mis à jour avec des mises à niveau techniques, sous réserve de la communication réelle)