Le coût invisible de la fabrication de puces: pourquoi le contrôle de l'humidité est - il si important?

Dans la fabrication de semi - conducteurs, rien n'est plus important que la précision. De la fabrication de la puce à l'assemblage final du circuit intégré, chaque étape du processus nécessite des mesures précises pour obtenir des résultats reproductibles de haute qualité. L'un des paramètres clés à mesurer est l'humidité, car le maintien précis du bon niveau d'humidité est essentiel pour obtenir de bonnes performances de l'équipement et la qualité du produit final.

Maintenir un bon environnement:

Lorsque la fabrication à l'échelle nanométrique est effectuée, même de petites déviations peuvent avoir des conséquences catastrophiques. Les conditions environnementales nécessitent une surveillance et une maintenance précises, car les composants semi - conducteurs tels que les puces et les circuits imprimés sont extrêmement sensibles à l'humidité. En fait, l'humidité est un polluant affectant les processus de fabrication de semi - conducteurs, et les estimations suggèrent que les pertes dues à des conditions d'humidité indésirables représentent jusqu'à 25% des pertes de revenus.

Une humidité trop élevée peut entraîner de la corrosion, des courts - circuits électriques, une mauvaise qualité des composants et des taux de défaillance plus élevés. Une humidité trop faible peut entraîner une accumulation d'électricité statique qui peut endommager la surface du semi - conducteur et réduire considérablement le rendement de production. Un contrôle précis de l'humidité est donc essentiel, ce qui fait d'un capteur fiable un investissement indispensable - un investissement judicieux dont l'impact est bien supérieur à sa taille ou à son coût. Des capteurs et des transmetteurs de haute qualité garantissent que l'équipement et l'environnement restent dans la gamme appropriée requise pour la fabrication de semi - conducteurs.

Solutions de mesure dans les processus de fabrication de semi - conducteurs:

Examinons quelques - uns des processus de fabrication de semi - conducteurs pour lesquels la gestion de l'humidité est essentielle et les solutions qui peuvent vous aider.

Nettoyage de polissage de plaquettes de silicium:

Le polissage et le nettoyage des plaquettes de silicium sont des étapes clés du processus de fabrication des semi - conducteurs. Le processus implique une humidité élevée et des produits chimiques irritants qui peuvent entraîner une dérive du capteur, ce qui rend la mesure précise plus difficile.

Les sondes utilisées dans cet environnement doivent résister à des niveaux d'humidité élevés et à une exposition aux produits chimiques irritants. Une bonne solution est la sonde de température et d'humidité compacte hmp9, qui est une sonde compacte avec un temps de réponse très rapide. Il peut résister à des niveaux d'humidité élevés et dispose également d'une fonction de nettoyage chimique pour le nettoyage du capteur après contamination. Pour les fabricants d'équipements, Vaisala propose également des produits modulaires de température et d'humidité, tels que le module d'humidité relative et de température hmm170, qui peuvent être intégrés dans le produit final.

Machine de lithographie de disque, machine de développement de colle:

Les machines de lithographie de plaquettes qui encollent et développent des plaquettes de silicium sont basées sur la technologie laser, de sorte que même de petits changements environnementaux peuvent affecter considérablement la qualité du processus. La pression atmosphérique ambiante, l'humidité relative et la température affectent tous les effets de lithographie et la mise au point de l'objectif, de sorte qu'ils doivent être surveillés et compensés en temps réel. Dans les procédés à l'échelle nanométrique, il devient encore plus important de mesurer et de surveiller précisément ces paramètres.

Une bonne solution pour ces appareils est le Vaisala indigo520 modulaire, qui fournit la pression atmosphérique comme paramètre de mesure optionnel. La sonde de température et d'humidité hmp3 est compatible indigo520 et sa construction permet de changer de capteur sur site sans outils, ce qui la rend idéale pour les environnements de salles blanches. D'autres modèles de sondes peuvent être utilisés pour les processus nécessitant la surveillance d'autres paramètres tels que le CO2 et le point de rosée. Quel que soit votre choix, la sonde peut être connectée à une unité de traitement de données (par exemple, indigo520), ce qui vous donne la flexibilité de choisir la combinaison appropriée pour un processus spécifique.

Table de découpe et de sonde de Wafer:

Le processus de découpe de plaquettes sépare les puces individuelles de la plaquette et nécessite des mesures d'humidité précises pour protéger les produits et les équipements. La condensation peut être un problème, en particulier lorsque le ruban adhésif est pelé, il est donc nécessaire de surveiller attentivement le point de rosée. Les variations de température auxquelles la puce est soumise pour tester les performances du circuit intégré pendant le test de la sonde. Ce processus nécessite un contrôle précis du point de rosée et de l'humidité en cas de condensation et de rouille dans l'environnement d'essai.

Vaisala propose une large gamme de produits compacts pour surveiller et contrôler ces paramètres. Le petit transmetteur de point de rosée dmt143 offre une large gamme de mesures allant de - 70 °C à + 60 °C et peut être utilisé pour les mesures de point de gel et de point de rosée. Une autre option est le transmetteur de point de rosée Vaisala dmt152, qui est optimisé pour les conditions ultra - sèches et fournit des mesures de point de gel jusqu'à - 80 ° C avec une erreur de + / - 2 ° c. les deux produits ont une fonction d'étalonnage automatique qui garantit de très longs intervalles d'étalonnage et une intégration facile dans les applications OEM telles que la fabrication de semi - conducteurs ou les équipements de test.

Qualité du gaz de la ligne de procédé:

Les salles blanches utilisées dans la fabrication de semi - conducteurs reposent sur des gaz de processus non réactifs de haute qualité tels que l'azote et l'argon. Assurer la siccité de ces gaz est essentiel pour maintenir la pureté de l'environnement du procédé et éviter les contaminations potentielles lors des phases sensibles de fabrication. Le niveau d'humidité dans la ligne de gaz de processus doit être surveillé pour assurer des résultats de mesure précis. Utilisez des tubes en acier inoxydable poli dans la ligne, car cela permet d'obtenir des lectures précises et non polluantes.

Vaisala drycap ® Les capteurs sont parfaits pour surveiller la sécheresse des gaz, car ils ont des temps de réponse extrêmement rapides, économisant des gaz coûteux et protégeant les processus en cas de défaillance. Ils peuvent également être calibrés automatiquement pour une bonne stabilité à long terme. Le transmetteur de point de rosée Vaisala dmt152 est un choix approprié pour cette application, capable de fournir des résultats de mesure de haute qualité en temps réel. Le dmt152 doit être installé directement dans le flux d'air pour garantir l'obtention d'un échantillon représentatif du gaz et l'utilisation d'un filetage conique pour éviter les fuites. La Chambre d'échantillonnage Vaisala est en acier inoxydable poli, ce qui garantit des mesures précises et de haute qualité.

L’importance du contrôle de l’humidité:

Le contrôle de l'humidité contribue à prolonger la durée de vie des équipements de fabrication de semi - conducteurs et à préserver la qualité du produit final. En utilisant des capteurs et des transmetteurs de haute qualité tout au long du processus de production pour surveiller et contrôler les niveaux d'humidité, les fabricants peuvent protéger leurs opérations contre les problèmes liés à l'humidité, réduire les coûts et optimiser les rendements.

　
Sonde de température et d'humidité compacte hmp9 (pour les environnements d'application en évolution rapide):

Vaisala humicap ® La sonde de température et d'humidité hmp9 a été spécialement conçue pour être facilement installée dans des environnements en évolution rapide. Les temps de réponse rapides, les performances mesurées et la résistance aux produits chimiques ne peuvent être réduits dans ces environnements. Sa petite taille lui permet d'être installé dans des espaces restreints avec une sonde de seulement 5 mm (0,2 Po) de diamètre. Pour les installations à l'intérieur de la tuyauterie et de la boîte d'expérimentation, la sonde peut être installée à l'aide d'un kit de montage de tuyauterie.

Sonde d'humidité et de température intelligente hmp3 (pour les applications universelles d'humidité et de température utilisant des capteurs réglables):

Vaisala humicap ® La sonde d'humidité et de température intelligente hmp3 est conçue pour des environnements polyvalents avec des niveaux d'humidité et de température modérés. La structure de la sonde permet de remplacer le capteur sans outil sur le terrain, convient aux systèmes HVAC industriels, aux salles de peinture, aux salles blanches, aux cabines environnementales et aux applications où le recalibrage régulier n'est pas suffisant pour maintenir la précision des mesures, etc.