Avantages et applications des contrôleurs de Débit massique de haute précision de la série hjfc

Dans le domaine de l'automatisation industrielle et de la fabrication de précision, la précision du contrôle des flux a un impact direct sur la qualité des produits et l'efficacité de la production.Le hjfcSérie de haute précision qualité Flow Controller (MFC), grâce à ses excellentes performances techniques et à sa large applicabilité, il est devenu un équipement de base dans les scénarios exigeants de fabrication de semi - conducteurs, de biomédecine, de synthèse chimique, etc. Les valeurs fondamentales de cette gamme de produits sont analysées ci - dessous à partir de deux dimensions de l'avantage technique et du scénario d'application.

Un,Le hjfcAvantages techniques des contrôleurs de Débit massique série

Précision de contrôle de flux à l'échelle nanométrique
Le hjfcSérie avec système micro - électromécanique (MEMS), capteur avec algorithme de contrôle en boucle fermée, mise en œuvre de gaz/Régulation de précision submillimétrique du débit de liquide. Par exemple, dans le processus de gravure de semi - conducteur, sa précision de contrôle peut atteindre± 0,5%La valeur de consigne, assure l'uniformité du dépôt de film mince sur la surface de la plaquette, améliore la performance du produit3% - 5%- Oui.

Réactivité dynamique à large échelle
La série couvre0,1SLM-500SLMLarge plage de trafic, temps de réponse<100ms.dans le scénario de contrôle de l'oxygène du Bioréacteur, il est possible de suivre rapidement les changements dans les besoins en oxygène du milieu de culture, d'éviter la baisse de l'activité cellulaire due au retard d'alimentation en air et d'améliorer considérablement l'efficacité de la fermentation.

Conception de compatibilité Multi - média
Contre les gaz corrosifs (tels queCl₂Et,HF), et des liquides spéciaux (tels que les solvants de photolithographie),Le hjfcLa série offre316LOptions de matériaux tels que l'acier inoxydable, Hastelloy, ajustementPTFEStructure scellée, assurant dans-20℃à120℃Fonctionnement stable dans la plage de température, pleineExtrême du piedExigences de la situation de travail.

Fonction d'auto - diagnostic intelligente
Intégré dans la pression, le module de compensation de température et le système d'alerte de défaut, il peut surveiller en temps réel la dérive du capteur, le blocage du corps de vanne et d'autres anomalies. Lorsqu'un écart de débit supérieur au seuil est détecté, le passage automatique au canal de commande de secours garantit la continuité de la production.

II. Scénarios d'application typiques de l'industrie

Domaine de la fabrication de semi - conducteurs
DansPECVDDans l'équipement,Le hjfcSérie contrôle précis Silane (SiH4) avec de l'ammoniac (NH₃), la proportion de mélange assurant la stabilisation de la vitesse de dépôt du film mince de nitrure de silicium à± 2%À l'intérieur, réduire efficacement le phénomène d'accumulation des bords de la plaquette.

Industrie biomédicale
Contrôle de mélange de gaz pour les incubateurs cellulaires par régulation en temps réelO₂/CO₂Proportion, maintien de l'environnement de cultureLe pHLa valeur est stable. Certaines données d'application de l'entreprise de fabrication de vaccins montrent que le Contrôleur améliore l'efficacité de l'amplification cellulaire18%Réduire le cycle de production20%- Oui.

Recherche et développement de nouveaux matériaux énergétiques
Dans la phase de formulation de l'électrolyte de la batterie lithium - ion,Le hjfcSolvants de réalisation en série (CE/DMC) avec du sel de lithium (LiPF₆) Micro Upgrade mélange de précision pour contrôler les fluctuations de conductivité de l'électrolyte dans± 1%À l'intérieur, améliore considérablement la durée de vie du cycle de la batterie.

Équipement de surveillance environnementale
En tant que composant central de l'échantillonneur atmosphérique, cette série de contrôleurs maintient0,1-5L/minDébit constant, même dans un environnement de changement drastique de pression d'air, garantit l'erreur de volume d'échantillonnage< 0,3%, pourLes PM2,5La surveillance fournit un support de données fiable.

Le hjfcSérie atteint le contrôle de flux grâce à l'innovation technologique de'Disponible'à'Fiable'Traversée, sa compensation de zone de température totale, communication Multi - Protocole (RS 485 / Modbus / EtherCAT), et d'autres caractéristiques font progresser le contrôle des processus industriels dans une direction plus précise et plus intelligente.