Dans les industries d'usinage de haute précision telles que les semi - conducteurs, l'optoélectronique et la micro et Nanofabrication, les processus clés tels que le collage, le développement et le nettoyage des plaquettes nécessitent un transport et un traitement complets dans un environnement propre hautement contrôlé de classe ISO 1, toute perturbation mineure du flux d'air (Par exemple, vortex local, mutation de la vitesse du vent) ou toute anomalie de la vitesse du vent (trop élevée ou trop faible) peut causer de graves problèmes - une vitesse du vent trop faible peut entraîner des contaminants dans des zones propres qui ne peuvent pas être éliminés à temps, augmentant le risque de contamination de la surface des plaquettes; La vitesse du vent est trop élevée et facile à souffler le revêtement de la surface de la plaque photolithographique, provoquant une déformation du motif ou un défaut; Les perturbations du flux d'air peuvent également interférer avec la précision de la transmission mécanique de la plaquette et même provoquer des défauts de blocage de l'équipement, problèmes qui peuvent éventuellement affecter directement la performance du produit (pouvant entraîner une baisse de performance de plus de 10%) et la stabilité du processus.



Par conséquent, la surveillance précise, reproductible et en temps réel de la vitesse du vent à l'intérieur de la cavité de l'équipement est l'un des principaux moyens de garantir la cohérence du processus, de vérifier la performance de l'équipement et d'identifier les risques potentiels, et le testeur d'environnement 6531 est l'équipement essentiel pour répondre à cette exigence fondamentale.
Processus de test
Pour vérifier si l'état du flux d'air à l'intérieur du canal de transmission de la plaquette est conforme aux exigences du processus, un testeur d'environnement multiparamètre de haute précision 6531 est utilisé pour effectuer des mesures synchrones des paramètres clés suivants.
Conditions environnementales:
Le test doit être effectué dans un environnement propre isoclass 1 à température constante et pression constante, ce qui peut éviter la détection d'interférences de particules externes, le système doit être nettoyé et équilibré avant le test.



Plage de vitesse du vent:
Équipement de la catégorie colle / développement (applicateurs de colle, développeurs, pulvérisateurs de colle)
De tels équipements dans le processus de traitement doivent compléter le revêtement de colle photolithographique, la pulvérisation de liquide de développement et d'autres opérations délicates, l'épaisseur du revêtement de colle photolithographique est généralement mesurée à l'échelle du micron, la vitesse du flux d'air trop rapide entraînera des ondulations sur la surface du revêtement, l'accumulation de bords et d'autres défauts, trop lent ne peut pas enlever à temps la vapeur de solvant volatile dans le processus de revêtement / développement, la pollution de la plaque sensible. Par conséquent, la vitesse du vent doit être strictement contrôlée entre 0,3 et 1,0 m / s et le flux d'air doit être réparti uniformément dans la section transversale de la cavité.
Matériel de nettoyage (dégraisseur, Nettoyeur monolithique)
Lors du nettoyage, il est nécessaire d'enlever la couche de colle, les impuretés avec des agents chimiques (acide sulfurique, acide fluorhydrique, etc.) ou un jet d'eau à haute pression, ce qui créera des vapeurs chimiques et des débris de particules. Une vitesse de vent insuffisante peut facilement fixer les contaminants, ce qui entraîne un nettoyage difficile; une vitesse de vent trop élevée peut perturber l'eau de pulvérisation ou permettre aux réactifs résiduels de se volatiliser rapidement pour former une pollution cristalline. Ainsi, la vitesse du vent est réglée sur 1,0 à 1,5 m / s, ce qui peut à la fois éliminer efficacement les polluants et maintenir la stabilité du flux d'air de la cavité, sans interférer avec le processus de nettoyage.
Température humiditéPour:
Une température trop élevée fait chuter la viscosité de la colle photolithographique, volatiliser rapidement le solvant, affecter l'uniformité de l'encollage; Trop bas réduit l'activité du réactif de nettoyage, l'effet de nettoyage devient mauvais; L'humidité est trop élevée et facile à rouiller le métal de l'équipement, court - circuit électrique, trop faible produit de l'électricité statique, les particules adsorbées polluent la plaquette. Par conséquent, la température doit être contrôlée à environ 25 ° C, humidité 50% RH.
Différence de pressionPour:
La pression interne est trop basse et l'air poussiéreux extérieur peut s'infiltrer dans la pollution; Trop élevé peut entraîner une déformation du joint de cavité, un flux d'air anormal et affecter le fonctionnement de l'équipement. Différentes exigences de différence de pression de l'équipement sont différentes: machine d'encollage, étanchéité confidentielle de développement forte, besoin de stabiliser le flux d'air, la différence de pression est généralement de 5 à 50 PA; machine de dégraissage, machine de nettoyage monolithique doit accélérer l'évacuation des gaz volatils, la différence de pression de 50 à 200 pa.
Méthode d'essaiPour:
1, en utilisant la méthode de maillage: en référence à la norme ISO 14644 - 3, la surface de sortie du FFU est divisée en mailles équi - surfaciques d'au moins 3 × 3 ou 4 × 4; Le Centre de la grille est le point d'échantillonnage, tout en contenant des zones clés telles que sous l'évent du filtre à haute efficacité, les coins de la cavité, au - dessus du chemin de transmission de la plaquette, etc. Prenez la vitesse moyenne du vent de la Section d'essai et jugez si elle est conforme.



2, ajustez la sonde 6531 pour qu'elle soit orientée vers le vent entrant, le point de mesure est à 15 ~ 30cm de la surface de sortie du vent FFU (selon la situation dans le banc de l'équipement peut être ajusté).
3, ajustez la sonde 6531 à chaque position de point central de la grille, il est recommandé que chaque temps de mesure doit être ≥ 10 secondes, plusieurs mesures, prenez la moyenne des données de vitesse du vent pour l'enregistrement.
4, fin de l'essai, l'analyse computationnelle de l'enregistrement des données acquises.
Remarque: lors de l'essai, l'équipement doit maintenir une bonne étanchéité, afin d'éviter de modifier la taille et le flux d'air du FFU en raison d'une mauvaise étanchéité de la cavité pendant l'essai, ce qui affecte la crédibilité des résultats de l'essai.



Effet du test:
La mesure a montré que le testeur d'environnement 6531 peut vérifier avec précision la stabilité du flux d'air de la cavité propre, garantissant efficacement la sécurité de la transmission de la plaquette et la cohérence du processus du processus de haute pureté; Dans le même temps, la surveillance synchrone multiparamètre et l'accumulation de données à long terme fournissent une base fiable pour la mise en service, l'acceptation et la maintenance de l'équipement, ce qui améliore considérablement la productivité et l'efficacité opérationnelle.
Performance des instruments et applications
Testeur d'environnement intelligent 65ser, vitesse du vent, volume d'air, température, humidité, pression test simultané, peut entrer la forme et la taille de la Section de tuyau pour calculer le volume d'air, fonction de maintien des données de test, calcul statistique (moyenne, max, min), stockage de données jusqu'à 20 000, 8 types de sondes à choisir, sondes interchangeables compatibles.



Le testeur d'environnement kanomax 65ser est largement utilisé dans les tests de ventilation, le contrôle de laboratoire, l'inspection des salles blanches, l'évaluation IAQ, l'hygiène industrielle, le contrôle de la qualité, etc., pour garantir la sécurité des processus et la qualité des produits.