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Ellipsomètre matriciel Mueller me - l Wuhan yiguang

NégociableMise à jour sur03/16

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Vue d'ensemble

Me - l Mueller matrice ellipsomètre I, présentation du produit: 1, gamme spectrale Ultra Large: avec lampe deutérium et lampe halogène source lumineuse Composite

Détails du produit

Me - l ellipsomètre à matrice Mueller

I. Introduction du produit:

1, gamme spectrale ultra - large: avec une lampe deutérium et une source lumineuse composée de lampes halogènes, le spectre couvre la gamme ultraviolette à proche infrarouge (380 - 1000nm) Support étendu à 200 - 1650nm

2, double modulation de compensateur de rotation: rotation de haute précision et contrôle synchrone de déclenchement pour réaliser l'acquisition de données spectrales à grande vitesse

3, mesure de matrice de Mueller complète: basé sur la configuration de compensateur de rotation double, peut acquérir 16 éléments de la matrice de Mueller à la fois, par rapport à l'ellipsomètre Spectral traditionnel peut obtenir des informations de mesure plus riches et complètes

4, conception de compensation achromatique super: technologie de compensateur brevetée, adaptée aux exigences de modulation de phase de haute précision dans une large gamme spectrale allant de l'ultraviolet profond au proche infrarouge

Riche base de données de matériaux et de modèles algorithmiques: des centaines de bases de données de matériaux, une variété de bibliothèques de modèles algorithmiques, couvrant la grande majorité des matériaux optiques actuels

6, interface interactive de type Assistant: opération interactive de l'interface homme - machine de l'assistant logiciel pour fournir aux utilisateurs une expérience d'exploitation de haute qualité

7, capacité d'analyse de nano - réseau: le modèle d'algorithme d'analyse avancé réalise divers cycles de structure de nano - réseau, largeur de ligne, hauteur de ligne, angle de paroi latérale, rugosité et autres informations géométriques topographiques extraites

II. Paramètres techniques:

Fonctions de base	Acquisition unique des spectres de Mueller Matrix, PSI / Delta, N / C / s, R / t, etc.
Gamme spectrale	380 - 1000nm (210 - 1650nm facultatif)
Temps de mesure	1-8s
Gamme d'angles d'incidence	45 - 90°
Taille du spot	2-3mm/200um
Précision de répétabilité	0005nm (tranche de silicium 100nmsio2)
Précision absolue (milieu aérien)	Paramètres elliptiques: ψ = 45 ± 0,05°Δ = 0 ± 0,01°
Précision absolue (milieu aérien)	Matrice de Mueller: élément Diagonal m = 1 ± 0005 élément non Diagonal m = 0 ± 0005
Logiciel d'analyse	Bibliothèque de plusieurs centaines de matériaux optiques, permettant la personnalisation de l'utilisateur
Logiciel d'analyse	Couches minces optiques Multi - couches isotropes / anisotropes, modélisation de structure de réseau périodique fonctions de simulation et d'analyse

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