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Débitmètre massique de gaz chaud
I. principe de fonctionnement:
La technologie de puce thermique μf est l'utilisation d'une résistance électrique intégrée à grande échelle pour garantir la hauteur du capteur *, résoudre le problème des débitmètres massiques thermiques traditionnels qui ne peuvent pas garantir la valeur de la résistance de leur capteur *, ce qui entraîne des différences dans la vitesse de conduction thermique du capteur dans chaque direction de découverte, de sorte que les débitmètres massiques thermiques traditionnels dans l'étalonnage et l'utilisation du capteur ont des problèmes de stabilité du produit, les débitmètres massiques thermiques dans l'application réelle sont coûteux et les applications à grande échelle sont relativement difficiles. Et la consommation d'énergie de la puce thermique sèche μf est considérablement inférieure à celle du débitmètre massique thermique ordinaire, les collègues sont fiables, stables et mieux sécurisés.
Sur la puce, une micro - source de chaleur et des capteurs de température situés respectivement en amont et en aval de la micro - source de chaleur sont intégrés sur un pont évidé réalisé selon le procédé * du MEMS. L'utilisation d'un tel type de pont pour créer un capteur de chaleur favorable permet d'améliorer considérablement le temps de réponse dynamique. Lorsque le capteur oscillant fonctionne, une certaine différence de température est maintenue entre la source de micro - chaleur et la température ambiante, créant une distribution fixe du champ de température autour de la puce.
Débitmètre massique de gaz chaud
II. Caractéristiques du produit:
1, l'intégration du produit est élevée, intégrant l'affichage du débit instantané, l'affichage du débit cumulé et la sortie du signal dans un seul corps, et peut réaliser le réglage automatique, la vanne de contrôle, pas besoin de passer l'affichage secondaire de l'instrument.
2, le capteur thermique de Microflow μf adopte la technologie de production de circuit intégré à grande échelle et la nouvelle technologie de traitement des matériaux, ce qui rend la sensibilité de mesure de Microflow du débitmètre considérablement améliorée.
3, mesure de gaz de débit minuscule, mesure de débit dimensionnelle au niveau de SCCM (ml / min) pour réaliser la numérisation de la mesure de débit minuscule.
La technologie de micro - traitement des caractéristiques de débit d'une seule puce permet d'améliorer considérablement la plage de mesure du débitmètre.
4, conception d'optimisation mécatronique, technologie de traitement de données intelligente, de sorte que le débitmètre a une meilleure répétabilité, la réalisation de la métrologie précise et fiable.
5, l'optimisation de la structure, la perte de pression du débitmètre MFM est réduite à zui.
6. La technologie de détection MF adoptée rend le travail du débitmètre plus stable et fiable.
7 *, fonction d'auto - apprentissage du point zéro, mesure plus précise.
8, étalonnage réel de plusieurs gaz, compensation de pleine échelle.
9, réponse rapide, stockage automatique numérique, avec la machine de BIT peut réaliser la gestion centralisée du réseau.
10, spécifications complètes, large plage de mesure, peut être calibré individuellement selon les exigences de l'utilisateur.
11, haute classe de précision pour répondre aux exigences de mesure de haute précision de l'utilisateur.
Fonction d'alarme du débitmètre de 12 *, ce qui rend la surveillance plus fiable.
13, opération, interface de réglage conviviale, facile, peut définir les paramètres pertinents par vous - même selon les besoins.
14, l'utilisation de nombreuses industries, de sorte que l'Institut de recherche scientifique, l'industrie de l'instrumentation analytique, l'industrie des semi - conducteurs, l'industrie photovoltaïque, le revêtement de verre, l'industrie de colocalisation des produits de contrôle de débit de gaz minuscules mis à niveau et remplacé *.
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