Miroir électrique à balayage environnemental par émission de champ thermique

1Nouveaux produits après mise à niveau -Technologie de scan environnementalLe champ de haute résolution émet un miroir électrique à balayage.

2Configuration complète

QuattroLe miroir électrique à balayage par émission de champ donne à l'utilisateur la configuration d'une sonde électronique secondaire à vide élevé, d'une sonde électronique secondaire à vide faible, d'une sonde électronique secondaire sous vide ambiant, d'une sonde électronique rétrodiffusée et d'une sonde électronique infrarougeCCDLa sonde. Peut répondre à toutes les situations que les utilisateurs peuvent rencontrer dans les travaux ultérieurs afin de minimiser les exigences des utilisateurs pour la préparation des échantillons.

Faible vide/La technologie de vide ambiant rend les échantillons non conducteurs et/Ou les échantillons contenant de l'eau peuvent être directement imagés et analysés sans traitement conducteur, sans phénomène d'accumulation de charge sur la surface de l'échantillon.

3, technologie optique électronique unique mature shottky champ tir pistolet à électrons, diaphragme final fixe,60° / 45°Bottes polaires coniques à deux étages, technologie de mise au point de précision à grande distance de travail, etc., peut effectuer des échantillons conducteurs et non conducteursEDS/EBSDAnalyse, en mode de vide élevé, en mode de vide faible, ou en mode de vide ambiant.

Flux grand faisceau stable(Max200 nA)Assurer le spectre etEBSDRapidité et précision du travail analytique.

4« through lens« etConception du système de vide différentiel de pression

La Chambre d'échantillon et le cylindre de miroir du microscope électronique à balayage à vide élevé ordinaire sont tous dans un état de vide élevé, exigeant que l'échantillon analysé soit un échantillon conducteur solide, si l'échantillon n'est pas solide et conducteur, l'échantillon doit être traité pour que l'échantillon atteigne les exigences. Cependant, parmi les échantillons rencontrés dans les travaux de recherche, les échantillons conducteurs solides ne sont qu'une infime partie, généralement nous rencontrons également des échantillons solides non conducteurs, des échantillons solides contenant de l'eau et de l'huile à la surface, ainsi que des échantillons non solides.

Dans un microscope électronique à balayage environnemental, deux pompes différentes sont utilisées dans trois zones grâce à une conception spéciale du système de videAspiration, le degré de vide de la Chambre d'échantillon est réduit, de sorte que les échantillons qui ne sont pas adaptés à un vide élevé peuvent rester intactsL'état, observé et analysé en microscopie électronique à balayage.

Dans le même temps, la partie du barillet du microscope électronique à balayage reste sous vide élevé, répondant aux exigences du système optique électronique. En microscopie électronique à balayage environnemental, les échantillons aqueux et biologiques peuvent être conservés dans leur état d'origine en remplissant la Chambre d'échantillon avec de la vapeur d'eau. La pression de gaz de la Chambre d'échantillon du microscope électronique à balayage environnemental Fei / Philips peut varier de 10pa à 4000pa pour atteindre l'équilibre de l'eau dans l'échantillon, ouEffectuer un test de déshydratation, d'humidification de l'échantillon.

5Détecteurs électroniques secondaires

Dans le microscope électronique à balayage à vide élevé ordinaire, l'utilisation estE‐TDétecteur électronique secondaire. Un tel détecteur ne peut pas fonctionner sous vide faible. Pour permettre la détection d'un signal électronique secondaire sous vide faible dans la Chambre d'échantillonnage,FEI/Philips développe un détecteur électronique secondaire à faible videGSED- Oui.

GSEDLa résolution du détecteur d'électrons secondaires peut être atteinte< 1.4 nm, le même indicateur de résolution que le miroir électrique à vide élevé ordinaire. Et,GSEDLe détecteur a surmontéE‐TInconvénients du détecteur, permettant d'observer des échantillons lumineux, chauffés.

6、Conception spéciale de bac à échantillons284mmGrand bac d'échantillon, coulé dans son ensemble, entraîné entièrement automatiquement par un moteur à 5 axes, offrant à l'utilisateur une double garantie. En fonctionnement manuel, xT‐ le logiciel de contrôle de miroir électrique surveille également le fonctionnement de la table d'échantillon,Garantir l'unicité des coordonnées sur l'échantillon. La fonction mémoire de la position de l'échantillon et des conditions d'observation permet à l'utilisateur de mémoriser la position de la zone d'intérêt et les conditions du miroir électrique,Localisation et conditions d'observation de la mémoire pouvant être répondues à tout moment,Faciliter le travail d'analyse comparative de l'utilisateur.

7, interface d'opération unique à une et quatre fenêtres

En même temps, il est possible d'afficher l'image électronique secondaire, l'image rétrodiffusée, ainsi que leur image hybride, ainsi que l'infrarougeCCDSurveillance en temps réel comme.

Cela permet d'obtenir une gamme complète d'informations. Zone de contrôle fonction utilisation très humaine,Les fonctions de contrôle sont facilement accessibles.

8、Infrarouge spécialCCDLe design

InfrarougeCCDLa conception de la sonde permet non seulement de surveiller en temps réel la situation interne du magasin d'échantillons, mais également de contrôler le mouvement de la table d'échantillons à travers cette fenêtre, mais également de prendre des photos à faible facteur en utilisant cet espace de lit pour la navigation.

9Le diaphragme final analytique.

Dans la microscopie électronique générale à balayage sous vide faible, la résolution spatiale et la précision analytique de l'analyse spectrale de l'énergie sont considérablement réduites dans l'état de vide faible, ce qui entraîne une perte fondamentale de l'utilité de l'analyse spectrale. En microscopie électronique à balayage environnemental,FEI/Philips est configuré avec un diaphragme final de type analytique,Capable de garantir la résolution spatiale et la précision analytique de l'analyse spectrale de l'énergie dans un état de vide faible.

10Technologie de numérisation numérique

Dans un miroir électrique quattro scan,FEI/Philips adopte la technologie numérique de balayage par faisceau d'électrons,Que ce soit par quantaLe logiciel de contrôle xt‐control opère sur les miroirs électriques,Ou un dispositif d'analyse tiers externe,Tout est basé sur la structure du Réseau pour le contrôle de numérisation numérique. Par exemple,Si l'utilisateur est dans quantaInstallation du système de spectromètre d'énergie sur,La société de spectrométrie d'énergie juste le quantaLa sonde de spectrométrie conçue est installée dansQuattroSur la salle d'échantillon,Mettez - le commeQuattro Analyseur de spectre conçu parQuattroHub réseau fourni pour la connexion réseau,Le spectromètre est disponibleQuattroScanner numérique pour contrôler le balayage du faisceau d'électrons sur la surface de l'échantillon.

11Système de vide

Pompe ionique, pompe moléculaire, système de vide de pompe mécanique avec Fei / Philips,Pas de pollution par l'huile,Vitesse de pompage rapide.

12Laboratoire microscopique

QuattroLes miroirs électriques à balayage environnemental peuvent être installés avec des tables d'échantillons in situ spéciales, telles que des tables chaudes, froides et étirables. à partir de - 165 °Cà 1400 °CDans la plage de température, une analyse dynamique in situ est effectuée sur une grande variété d'échantillons maintenus dans leur état d'origine.