P63.xy18s p63.xy18k table de positionnement piézoélectrique Nano

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P63.xy18s p63.xy18k piézoélectrique nanopositioning table caractéristiques du produit: course de l'axe XY 18μm / axe; Boucle ouverte / fermée facultative; Charge jusqu'à 0,5 kg; la version sous vide est facultative;

Détails du produit

P63.xy18s p63.xy18k table de positionnement piézoélectrique NanoCaractéristiques du produit

Course de l'axe XY 18μm / axe

Boucle ouverte / fermée optionnelle

Charge jusqu'à 0,5 kg

Version sous vide en option

Paramètres techniques:

modèle	S - boucle fermée K - boucle ouverte	P63.XY18S	P63.XY18K	unité
Degré de liberté de mouvement		X et Y	X et Y
Contrôle de conduite		2 voies d'entraînement, 2 voies de détection	2 - way Drive
Plage de course nominale (0 ~ + 120 V)		16 / axes	16 / axes	μm ± 10 %
Max. Plage de course (0 ~ + 150 v)		18 / axes	18 / axes	μm ± 10 %
Type de capteur		SGS	-
Résolution en boucle fermée / ouverte		0.6	0.2	nm
Linéarité en boucle fermée		0.3	-	%F. S.
Précision de positionnement répété en boucle fermée		0.25	-	%F. S.
Tangage / lacet / roulis		≤ 15	≤ 15	μrad
Fréquence de résonance à vide		2	2	KHz ± 20 %
Temps d'étape à vide en boucle fermée / ouverte		8	0.5	ms ± 20 %
Capacité de charge		0.5	0.5	kilogrammes
Capacité électrostatique		1.8	1.8	μF ± 20 %
Plage de température de fonctionnement		- 20 à 80	- 20 à 80	°C
matière		aluminium	aluminium
Longueur hors ligne		1.5	1.5	m ± 10 mm

P63.xy18s p63.xy18k table de positionnement piézoélectrique NanoDiagramme de taille

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