P63.x18z8s p63.x18z8k piézoélectrique nanopositioning table caractéristiques du produit: course de l'axe X 18μm / axe, boucle ouverte / fermée en option, course Z - directionnelle, boucle ouverte / fermée en option, version sous vide en option
P63.x18z8s p63.x18z8k table de positionnement piézoélectrique Nano Caractéristiques du produit
Course de l'axe x 18 μm / axe
Boucle ouverte / fermée optionnelle
Course Z 8 μm
Boucle ouverte / fermée optionnelle
Version sous vide en option
Paramètres techniques:
modèle |
S - boucle fermée
K - boucle ouverte
|
P63.X18Z8S |
P63.X18Z8K |
unité |
Degré de liberté de mouvement |
X et Z |
X et Z |
|
Contrôle de conduite |
2 voies d'entraînement, 2 voies de détection |
2 - way Drive |
|
Plage de course nominale (0 ~ + 120 V) |
X : 16, Z : 6 |
X : 16, Z : 6 |
μm ± 10 % |
Max. Plage de course (0 ~ + 150 v) |
X : 18, Z : 8 |
X : 18, Z : 8 |
μm ± 10 % |
Type de capteur |
SGS |
- |
|
Résolution en boucle fermée / ouverte |
X0,6 Z0,2 |
X0,2 Z0,1 |
nm |
Linéarité en boucle fermée |
X : 0,3, Z : 1 |
- |
%F. S. |
Précision de positionnement répété en boucle fermée |
0.25 |
- |
%F. S. |
Tangage / lacet / roulis |
≤ 15 |
≤ 15 |
μrad |
Fréquence de résonance à vide |
X2 / Z1 |
X2 / Z1 |
KHz ± 20 % |
Temps d'étape à vide en boucle fermée / ouverte |
8 |
0.5 |
ms ± 20 % |
Capacité de charge |
0.5 |
0.5 |
kilogrammes |
Capacité électrostatique |
X : 1,8, Z0,8 |
X : 1,8, Z0,8 |
μF ± 20 % |
Plage de température de fonctionnement |
- 20 à 80 |
- 20 à 80 |
°C |
matière |
aluminium |
aluminium |
|
Longueur hors ligne |
1.5 |
1.5 |
m ± 10 mm |
P63.x18z8s p63.x18z8k table de positionnement piézoélectrique NanoDiagramme de taille
