Ellipsomètre à matrice Mueller à large spectre de type me - l

Aperçu

Me - l est un ellipsomètre de type matrice de Mueller entièrement automatique et de haute précision de qualité scientifique, qui rassemble les contributions de l'équipe de recherche de Summer Light dans la technologie ellipsométrique depuis de nombreuses années, qui utilise les dernières innovations de l'industrie, y compris le compensateur achromatique, le contrôle synchrone du compensateur à double rotation, l'analyse des données de la matrice de Mueller, etc. Il peut être appliqué à l'analyse de caractérisation de diverses épaisseurs de film de matériaux de film mince isotrope / anisotrope, constantes optiques de nano - réseau, et structures de matériaux de nano - réseau unidimensionnel / bidimensionnel.

Une configuration à double compensateur de rotation (RDC) pour mesurer l'ensemble des 16 éléments de la matrice de Mueller à la fois; Configurer des modules matériels de haute qualité tels que le changeur d'angle automatique, la plate - forme de contrôle d'échantillon à cinq dimensions; Interface interactive de logiciel avec la conception de type assistant, facile à monter et facile à utiliser; Une riche bibliothèque de bases de données et de modèles géométriques garantissant de puissantes capacités d'analyse de données.

I. caractéristiques du produit
1, utilisant la source lumineuse composée de lampe de deutérium et de lampe d'halogène, le spectre couvre la gamme ultraviolette à proche infrarouge (193 - 2500nm);



2, peut réaliser le traitement des données de la matrice de Mueller, une plus grande quantité d'informations de mesure, une vitesse de mesure rapide et des données plus précises;



3, basé sur la configuration de compensateur de rotation double, peut obtenir 16 éléments de la matrice de Mueller complète avec une seule mesure, relativement à l'ellipsomètre Spectral traditionnel peut obtenir des informations de mesure plus riches et complètes;



4. La technologie brevetée de la lumière d'été assure dans une large gamme spectrale, fournissant un spectre de bande de haute qualité et stable;





Des centaines de bases de données de matériaux, de nombreuses bibliothèques de modèles algorithmiques, couvrant la grande majorité des matériaux optoélectroniques actuels;



6, l'analyse intégrée du nanoréseau, peut mesurer simultanément l'analyse de la période de Nanostructure, de la largeur de ligne, de la hauteur de ligne, de l'angle de paroi latérale, de la rugosité et d'autres informations géométriques topographiques;




II. Application du produit
Structures de couches minces semi - conductrices: couches minces diélectriques, couches minces métalliques, macromolécules, gommes photolithographiques, silicium, films PZT, diodes laser Gan et AlGaN, dispositifs électroniques transparents, etc.;
Nanostructures périodiques semi - conductrices: nanoréseaux, erreurs de gravure, mémoires à changement de phase de type T, etc.;
Nouveaux matériaux, étude de nouveaux phénomènes physiques: anisotropie optique des matériaux, effets électro - optiques, effets bouffées de lumière, effets Acousto - optiques, effets magnéto - optiques, effets rotatifs, effets Kerr, effets farady, etc.;
Affichage à plat: TFT, OLED, panneau d'affichage plasma, panneau d'affichage flexible, etc.;
Énergie solaire photovoltaïque: matériaux photovoltaïques (tels que Si3N4, sb2se3, Sb2S3, CDS, etc.) réflectivité, mesure du coefficient d'extinction, mesure de l'épaisseur de la couche de film et de la rugosité de surface, etc.;
Peintures fonctionnelles: type perméable, type auto - nettoyant, type électrochrome, revêtement optique spéculaire, ainsi que polymères, huiles, revêtement et traitement de surface Al2O3, etc.;
Génie biologique et chimique: Membranes organiques, membranes LB, membranes Sam, couches protéomoléculaires, adsorption sur Membranes minces, traitement de modification de surface, etc.;
Analyse des matériaux massifs: caractérisation de l'indice de réfraction N et du coefficient d'extinction K pour les solides (métaux, semi - conducteurs, milieux, etc.) ou les liquides (purs ou mélanges), recherche et développement de nouveaux produits en verre et contrôle de la qualité, etc.
Accessoires recommandés

Console de température	Module d'extension mapping	Pompe à vide	Composants d'adsorption par transmission