Sous la sonde, la précision atteint le microcosme

Instrument de la série NSMètre d'épaisseur de film d'étape de revêtementEst un instrument de mesure de profil microscopique de contact ultra - précis, sa plate - forme XY sophistiquée combinée à une table tournante motorisée à rotation continue de 360 °, peut ajuster la position de l'échantillon ainsi que l'angle, la position tridimensionnelle peut être ajustée, ce qui facilite l'ajustement de l'échantillon. Il est principalement utilisé pour la mesure des paramètres de topographie microscopiques tels que la hauteur des marches, l'épaisseur de la couche de film, la rugosité de surface et d'autres.

Série NSMètre d'épaisseur de film d'étape de revêtementL'utilisation du capteur capacitif différentiel linéaire variable lvdc, avec la capacité de régulation ultra - force et la résolution Sub - angström, en même temps, il intègre des technologies de base telles que l'acquisition de signaux à très faible bruit, le contrôle de mouvement ultra - fin, l'algorithme d'étalonnage et d'autres, ce qui rend l'instrument ultra - haute précision de mesure et la répétabilité de mesure.

Caractéristiques du produit

1. Excellente Répétabilité et reproductibilité pour répondre aux exigences de précision de mesure de la pièce testée

Capteur capacitif différentiel linéaire variable (lvdc) avec résolution Sub - angström jusqu'à 0,01 angström à une échelle de 13 µm. Un rapport signal sur bruit élevé et une faible erreur linéaire permettent de balayer le produit jusqu'à des caractéristiques topographiques de quelques nanomètres à quelques centaines de microns.

2. Capteur de force constante ultra - micro - Force: (1 - 50) Mg réglable

La force de mesure est réglable en permanence pour s'adapter aux surfaces de matériaux durs ou mous. Conception à inertie ultra - faible et contrôle de la force électromagnétique minuscule pour des mesures de contact précises sans dommages de contact.

3. Plate - forme ultra plate - forme de balayage

Le système est équipé d'un guide de rectitude ultra - élevé, éliminant les tremblements subtils dans le mouvement, améliorant la précision du balayage et reflétant fidèlement la topographie minuscule de la pièce.

4. Système de navigation optique à vision de dessus, caméra couleur ultra haute résolution 5MP

5. Table de chargement XY entièrement automatique, ascenseur automatique de l'axe Z, plateau tournant thêta entièrement automatique à 360 °

6. Système puissant d'acquisition et d'analyse de données

Le logiciel stepper comprend plusieurs modules qui fournissent un support complet pour la mesure de la hauteur et l'évaluation analytique des différentes pièces testées.

Caractéristiques du produit

1. Fonction de mesure de paramètre

1) hauteur de marche: capable de mesurer la hauteur de marche du nanomètre à 330 μm ou 1050 μm, peut mesurer avec précision la gravure, la pulvérisation, SIMS、 Matériaux déposés ou éliminés lors de procédés tels que dépôt, Spin Coating, CMP, etc.

2) rugosité et ondulation: capable de mesurer la rugosité et l'ondulation de l'échantillon, le logiciel d'analyse peut acquérir des dizaines de paramètres tels que ra, RMS, RV, RP, rz liés à la rugosité et à l'ondulation en calculant la courbe de profil microscopique balayée.

3) mesure de contrainte: la contrainte de surface de plusieurs matériaux peut être mesurée.

2. Mode de mesure et fonction d'analyse

1) mode de mesure à zone unique: lorsque vous avez terminé Focus, vous pouvez commencer à mesurer en définissant le point de départ et la longueur de numérisation en fonction de la carte de navigation de l'image.

2) mode de mesure Multi - Zone: après avoir terminé Focus, selon la carte de navigation d'image pour compléter le réglage du chemin de balayage d'une seule zone, vous pouvez former une matrice de plusieurs à des dizaines de centaines de chemins de balayage en fonction de la distance latérale et longitudinale pour former un mode de mesure Multi - zone, un clic peut compléter la mesure automatique de tous les chemins de balayage.

3) mode de mesure 3D: après avoir terminé Focus, vous pouvez terminer le réglage du chemin de balayage d'une seule zone en fonction de la carte de navigation de l'image, et vous pouvez terminer le réglage de toute la zone de surface de balayage en fonction de la largeur de la zone de balayage souhaitée ou de l'espacement et de la quantité des lignes de balayage, en un clic, vous pouvez effectuer automatiquement le balayage de toute la zone de surface de balayage et la reconstruction de l'image 3D.

4) Analyse statistique SPC: prend en charge l'analyse de plusieurs paramètres d'indicateur pour différents types de pièces testées, fournit des graphiques SPC pour les données de mesure d'échantillons en vrac afin de comptabiliser les tendances changeantes des données.

3. Double fonction d'image optique de navigation

Les modèles ns200 - D sont équipés d'une caméra couleur de 500 W pixels à vision directe ou oblique, qui définit avec précision la trajectoire de numérisation dans le système d'imagerie de navigation à vision directe et assure le suivi en temps réel de la trajectoire de numérisation dans le système d'imagerie de navigation à vision oblique.

4. Fonction de changement d'aiguille rapide

L'aiguille de mesure à aspiration magnétique a été adoptée, l'aiguille de mesure à balayage peut être rapidement remplacée sur site lorsque l'opération de changement d'aiguille doit être effectuée et étalonnée rapidement selon le module d'étalonnage dans le logiciel, assurant la précision et la répétabilité après le changement d'aiguille, réduisant les tracas de maintenance.

Diagramme d'aspect physique de l'aiguille d'aspiration magnétique (échelle de 330 μm)

Applications typiques

Indicateurs techniques partiels

Veuillez noter: en raison de l'évolution du marché et des besoins de développement de produits, le contenu de ce profil de produit peut être mis à jour ou modifié à tout moment sans préavis en fonction de la situation réelle.