Système de métrologie de bosse—BOKI_1000

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Brève introduction

Prenant en charge les substrats collés, amincis, déformés et coupés, le système Boki - 1000 peut fournir d'excellentes capacités de mesure pour des caractéristiques telles que post - coupés, pré - collés, Patterning de plots de cuivre, colonnes de cuivre, bosses (Bump), Vias de silicium (TSV) et couches de redistribution (RDL).

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