La technologie d'interférométrie laser présente les avantages d'une sensibilité élevée, d'une grande portée et d'une adaptabilité aux environnements difficiles. Les ondes lumineuses peuvent être définies directement au mètre et facilement retracées. La règle laser à fibre optique de la série plr3000, basée sur le principe de l'interférométrie laser, est une densité de précision élevée, une sensibilité élevée, un équipement de détection de position avancé efficace et rapide, qui présente des avantages dans le domaine de la mesure de haute précision sans contact, par rapport à la règle à ruban en acier traditionnelle ou à la grille en verre, avec une grille plus précise et une résolution plus élevée, tandis que sa conception d'isolation de source de chaleur garantit une plus grande stabilité, tout en présentant des caractéristiques telles que l'installation rapide et la collimation facile, largement utilisée dans la microélectronique, la micromécanique, la microoptique et d'autres domaines modernes de fabrication d'usinage ultra - précis, la technologie de lithographie et les domaines de haute technologie tels que l'

Composition de règle laser à fibre

La règle laser à fibre est composée d'un dispositif d'émission laser, d'une sonde interférométrique, d'un miroir, etc.

1. Dispositif d'émission laser

Le dispositif d'émission laser a intégré une source de lumière laser hélium - néon à haute stabilité avec une précision de fréquence stable de 0,05 PPM (0,02 ppm en option). La conduction du laser à la sonde interférométrique par une fibre optique blindée permet d'isoler la source de chaleur de la sonde de mesure. L'unité d'émission laser est dotée d'un système de traitement de signal haute précision intégré qui permet la sortie directe de signaux orthogonaux numériques RS422 en temps réel et de signaux analogiques orthogonaux avec une résolution configurable par l'utilisateur, ainsi que le développement secondaire via USB - SDK.

2. Sonde interférométrique

2.1 sondes d'interférence différentielle (DI)

La sonde interférométrique différentielle délivre deux faisceaux laser (lumière de référence et lumière de mesure) réfléchis respectivement par un miroir plan fixe et un miroir plan mobile, permettant un quadruplement optique avec une résolution du système supérieure et une erreur de non - linéarité réduite. Particulièrement adapté à la mesure des mouvements relatifs entre les colonnes de l'axe Z et les plates - formes mobiles, l'élimination des erreurs dues à la dérive thermique de la paroi interne et aux vibrations / mouvements des colonnes, est un choix pour un schéma de précision à l'échelle nanométrique.

2.2 sondes interférométriques à miroir plat (PI)

La sonde interférométrique à miroir plat utilise un système interférométrique à double champ optique, associé à un miroir plat, pour atteindre une fréquence optique quadruple, avec une résolution du système plus élevée, en utilisant un système à deux axes, associé à un miroir plat à longue bande, particulièrement adapté aux applications de contrôle de mouvement et de mesure de la plate - forme XY. Disponible en deux configurations de sortie de lumière 0°, 90°.

2.3 sonde d'interférence pyramidale (RI)

Sonde interférométrique à prisme conique, facile à installer, de haute précision, adaptée à la mesure linéaire uniaxiale ou à la rétroaction de position, distance de mesure jusqu'à 10 mètres, personnalisable jusqu'à 40 mètres, largement utilisée dans le positionnement du mouvement et l'étalonnage de l'équipement. Disponible en deux configurations de sortie de lumière 0°, 90°.

Caractéristiques techniques de la règle laser à fibre

1. Mesure de haute précision: la précision de mesure linéaire peut atteindre 0,5 ppm;

2. Haute précision de stabilisation de fréquence laser: stabilisation de fréquence laser jusqu'à 0,05 PPM (0,02 ppm en option)

3. Haute résolution: la résolution inhérente est jusqu'à 10nm, peut être configurée avec différentes résolutions, peut étendre davantage la subdivision pour atteindre une résolution plus élevée.

Mesure 4.high-speed: la vitesse de mesure maximale peut être supérieure à 2000mm / s;

5. Longue portée: la portée de mesure peut atteindre plus de 4M, 40 mètres peuvent être personnalisés;

6. Installation facile, collimation facile: petite taille, installation flexible, peut réduire considérablement l'erreur Abbe; La sonde interférométrique est configurée avec des moyens de réglage angulaire pour réaliser facilement la collimation du faisceau lumineux;

7. Isolation de la source de chaleur du chemin optique de mesure: le dispositif d'émission laser est séparé de la sonde de mesure, la sonde n'a pas de source de chaleur, ce qui peut éviter l'influence de la dissipation de chaleur de l'hôte sur la voie de mesure;

Sortie 8.multi-channel: jusqu'à trois sondes peuvent être connectées en même temps, facilement réaliser des mesures simultanées Multi - axes et des mesures Multi - degrés de liberté;

9. L'interface de sortie est diverse: l'interface de sortie hôte contient l'interface USB et l'interface de sortie de position, l'interface de sortie de position a TTL différentiel (RS - 422 / EIA - 422), signal cosinus positif (sincos1vpp), USB - SDK.

Vérification de l'application de règle laser à fibre

La règle laser à fibre de la série plr3000 a été vérifiée avec précision sur plusieurs clients: contrôle en boucle fermée de la table de déplacement nanométrique de haute précision avec une sonde d'interférence différentielle (DI), permettant une précision de contrôle de position à l'échelle nanométrique n'importe où dans une course de 10 mm.