Brooke(utilisateur)Profilomètre optique（Interféromètre à lumière blanche) etIntroduction aux produits, applications

Un,Introduction à la ligne de produitsPour:

Brooke(utilisateur)Est * * * * * pour le programme de métrologie et d'inspection de surface 3D, offrant un programme de caractérisation de contour 3D sans contact rapide, fiable et facile à utiliser. Échantillons aussi petits que sous champ de vision microscopiqueMEMSStructure, moteur mécanique grand à complet. Ces programmes offrent aux chercheurs et aux ingénieurs en R & D, fabrication et contrôle de la qualité la sensibilité et la stabilité de l'industrie * *. C'est le défi auquel sont confrontées les autres méthodes de métrologie dans les applications de mesure de surface tridimensionnelle fine.

Le profilomètre optique bruker est basé surWyko ®La technologie de base exclusive, accumulée sur dix générations, offre une précision et une stabilité inégalées par d'autres systèmes de mesure. Aujourd'hui, ceux - ci deviennent les principaux scénarios d'application pour la mesure tridimensionnelle de surface de précision. Nos outils de métrologie ont fait leurs preuves pour soutenir * * La recherche et la découverte * * en laboratoire et en production，L'équipement est largement utilisé dans les semi - conducteurs, l'optique et d'autres industries- Oui.

Le profilomètre optique bruker comprend les modèles suivants: desktop SeriesContourX-100,le X-200,le X-500, série au solContourX-1000,NPFLEX-1000Et spécialement pourPCBDesign du panneauContourSP, également pour l'analyse de surface dans le domaine du stockage de donnéesHD9800 +- Oui.

Deux,Introduction aux fonctionsPour:

Le profilomètre optique 3D de bruker pourSans contact, haute précision, haute adaptabilité remarquable，Disponible à partir de micro pour la R & D, le contrôle de la qualité et la production en ligne MEMSStructure à la pièce entière300 mmSolutions * * * de métrologie de surface 3D pour les plaquettes et même les pièces de plus grande taille. Les principales fonctions sont énumérées ci - dessous.

1,Topographie de surface mesure de haute précision:< 0,01 nmLa résolution de surface,< 0,1%La hauteur des marches est répétitive.

2,Résultats de traçabilité conformes aux normes: le profilomètre optique tridimensionnel bruker agit comme un appareil de métrologie et mesure la hauteur avec une extrême précision.

3,Mode de mesure universel: reconnaît automatiquement la texture de la surface et optimise le signal, en conciliant précision Sub - nanométrique et grande hauteur de marche.

4,ÉliteImagerie améliorée: Haute fidélité tout en conservant la précision métrologique2DImage optique.

5,Inclinaison/Tête optique de tangage: les positions de mesure et de mise au point ne changent pas lorsque les modèles spécifiques réalisent l'inclinaison de la tête latérale, améliorant considérablement l'efficacité des tests et la commodité d'utilisation.

6,Logiciel d'analyse efficace: des milliers de filtres prédéfinis avec des scripts d'analyse, sortie en un clicISO25178Et,norme ASME B46.1Etc. paramètres standard spécifiés.

7,Traitement automatique par lots: autofocus, éclairage automatique, importation de fichiers de coordonnées, reconnaissance de motifs etESDProtection, permettant une mesure par lots "en un clic".

8,Mode de mesure de l'épaisseur du film: l'épaisseur du film est calculée en mesurant le signal réfléchi sur la surface supérieure et inférieure du film transparent.

Trois,Introduction à l'application:

1,Usinage de précision: système de mesure de niveau métrologique, mesure précise et efficace de la qualité de surface de traitement de précision ou de la taille tridimensionnelle du motif de micro - Nano - usinage, fournit une rétroaction et un rapport adéquats pour la surveillance, le suivi, l'évaluation du processus, améliorant considérablement l'efficacité du développement du processus.

2,Systèmes et capteurs micro - électromécaniques: fournit des mesures de profondeur de gravure, d'épaisseur de film, de hauteur de marches et de rugosité de surface à haut débit et à haute répétabilité pour une surveillance précise et efficace du processus.

3,****: mesure précise et reproductible de toutes sortes de surfaces * * * * telles que les matériaux et composants d'implant, offrant une garantie de qualité.

4,Usure par friction: mesure quantitative de la quantité d'usure volumique, analyse précise et évaluation du frottement, de l'usure, de la lubrification, de la corrosion sur les matériaux/Impact sur les performances et la durée de vie des composants.

5,Semi - conducteurs: mesure de la rugosité, de la planéité; Hauteur des bosses, coplanarité et identification et analyse des défauts; Et des mesures dimensionnelles tridimensionnelles clés de diverses structures telles que des lignes, des trous, des couches de membrane, etc. Par exemple * * recâblage dans le domaine de l'encapsulation (RDL), perforations de silicium empilées en trois dimensions (TSV), et la surveillance dimensionnelle 3D des processus tels que les plaques porteuses.

6, optique: mesure précise et reproductible des matériaux optiques et de la surface des composants, évaluation quantitative des maladies et aide à optimiser le processus de traitement. On peut citer par exemple la surveillance de la qualité des surfaces planes et courbes ainsi que la mesure automatique de structures micro - Nano - optiques (période, profondeur, etc.) et de réseaux de microlentilles (diamètre, courbure, hauteur sagittale).