Le 4 septembre 2025, la 13e exposition de matériaux et de composants de base pour dispositifs semi - conducteurs a eu lieu au Wuxi Taihu International Expo Center. Sous le thème « faire un noyau chinois fort et embrasser le monde du noyau », cette conférence annuelle sur les équipements semi - conducteurs a réuni des fabricants d'équipements semi - conducteurs, des entreprises de fabrication de capteurs et des entreprises en amont et en aval de la chaîne industrielle, des experts et des universitaires des instituts de recherche scientifique, pour partager les derniers résultats de la recherche scientifique et des cas d'application pratique, afin de discuter ensemble de la manière dont la modernisation industrielle peut être rendue possible par l'innovation technologique.



Kanomax présente au stand B3 - 328 des instruments de détection tels que compteur de particules de poussière, anémomètre thermique, transmetteur de vitesse du vent, micromanomètre différentiel, etc.









Le flux de personnes avant le stand a bondi, le personnel de recherche et développement de l'entreprise de matériaux semi - conducteurs, le chef de la technologie de l'usine FAB se sont arrêtés pour consulter, le personnel de Kano a présenté patiemment et méticuleusement les caractéristiques de performance de l'instrument, les scénarios d'application et a effectué une démonstration de produit sur place, afin que tout le monde puisse ressentir intuitivement les excellentes performances du produit.





Compteurs de particules pour applications dans les environnements de fabrication de semi - conducteurs
Dans le processus de fabrication de puces semi - conductrices, l'exigence de propreté de l'environnement de production est élevée, il doit être interdit de provoquer un court - circuit ou une coupure du cristal en raison de particules de poussière, d'écarts de processus et d'autres facteurs, de contrôler la quantité de particules ultra - minuscules sur Le site d'exploitation dans l'environnement de purification, afin de garantir la qualité du produit et d'améliorer la qualité du produit.



Dans le processus de fabrication de puces semi - conductrices, les compteurs de particules sont principalement appliqués à:
1. Inspection du processus de fabrication dans l'usine FAB: dans de nombreux processus tels que la lithographie de la plaquette, le développement de la colle, la gravure, etc., utilisez un compteur de particules pour détecter les particules de poussière dans l'environnement et assurer la précision du processus.
2. Processus d'encapsulation: dans le processus d'encapsulation de coupe de disque, le compteur de particules joue également un rôle clé pour garantir la qualité de l'encapsulation.
3. Surveillance de la qualité du processus de production de l'équipement à semi - conducteurs: le point de processus de l'équipement est surveillé par le compteur de particules, assurant la stabilité du processus de production et la qualité du produit.



Le compteur de particules de poussière ultra - compact 3950, spécialement conçu pour les environnements de fabrication de puces semi - conductrices, est capable de surveiller avec précision les particules minuscules de 0,1 μm et 0,3 μm, avec l'avantage d'être léger et petit, et peut également servir de capteur intégré dans l'équipement de production pour surveiller en temps réel les particules ultra - fines sur le site d'exploitation, fournissant une base fiable pour l'évaluation de la propreté de l'environnement d'exploitation. Avec une technologie d'inspection de précision de 0,1 μm, construisez une ligne de défense de qualité pour chaque maillon microscopique fabriqué par le « noyau chinois».




Anémomètres applications dans les environnements de fabrication de semi - conducteurs
Dans la fabrication de semi - conducteurs, le développement, la gravure, la découpe et d'autres processus clés, la vitesse du vent ambiant (vitesse du vent local dans les salles blanches et les équipements) affecte directement la précision du processus, la fiabilité et la fiabilité du produit. Une vitesse raisonnable du vent peut former un « champ laminaire / chaotique» stable qui élimine les particules fines (p. ex. résidus de photolithographie, sous - produits de gravure, poussière de coupe) et évite que leur fixation à la surface de la plaquette ne provoque des défauts;
Dans le même temps, des vitesses de vent anormales (trop élevées / trop basses / inégales) provoquent directement une perte de rendement. Par exemple, une fluctuation de 5% de la vitesse du vent dans une liaison de lithographie peut entraîner un écart de largeur de ligne de 0,03 μm (la valeur admissible de l'écart de largeur de ligne du processus de 7 nm n'est que de 0,02 μm), ce qui entraîne directement la défaillance de la puce.



Les exigences de propreté de l'équipement de développement de colle pour l'environnement de production sont élevées, en particulier lors de l'application et du développement de la colle photolithographique, la contamination par de minuscules particules peut entraîner des défauts de motif photolithographique, affectant les performances de la puce. Il est nécessaire de fournir de l'air pur à travers des filtres à haute efficacité tels que HEPA ou ulpa de l'unité de filtration du ventilateur (FFU), qui éliminent efficacement les particules de l'environnement et garantissent que la surface de la plaquette n'est pas contaminée, améliorant ainsi la précision et le rendement des motifs lithographiques.



Le testeur d'environnement kanomax 65ser peut capturer avec précision les variations de vitesse du vent à l'intérieur des salles blanches et des équipements, qu'il s'agisse de petites fluctuations de vitesse du vent ou de différences de vitesse du vent dans des zones locales, tout en mesurant la vitesse du vent, la température, l'humidité, la pression, la forme et la taille de la Section du tuyau d'entrée pour calculer le débit d'air, avec un choix de 8 sondes, largement utilisées dans l'industrie des équipements de fabrication de semi - conducteurs grâce à des caractéristiques telles que la haute précision, l'interchangeabilité des sondes, la stabilité, la facilité d'utilisation et L'affichage de mesures



Kanomax travaille intensément dans le domaine des technologies propres des semi - conducteurs depuis de nombreuses années et a déjà gagné la confiance et la reconnaissance de nombreux clients. La société continuera d'accroître ses investissements en R & D, de lancer de nouveaux produits et technologies compétitifs, de répondre aux besoins changeants et de mise à niveau du marché et de contribuer davantage au développement et au progrès de l'industrie des semi - conducteurs.
Merci à tous d'être venus au stand kanomax de Kano pour visiter l'échange, qui se poursuit avec brio demain, assistons ensemble à un nouveau voyage dans le développement de l'industrie des semi - conducteurs!