Dans les domaines des communications laser, des liaisons optiques par satellite, de la lithographie à semi - conducteurs, etc., un décalage millicentimétrique du faisceau peut entraîner une dégradation des performances du système. En tant que producteur national de la technologie de nanolocalisation piézoélectrique, la série de miroirs de déviation piézoélectriques lancée par Core Tomorrow Technology Co., Ltd., grâce à son“Précision en nanoradians, réponse en millisecondes, adaptabilité environnementale extrême« etLes trois principaux avantages, qui sont devenus la solution du puzzle de contrôle de faisceau de haute précision“Leaders techniques« et- Oui.

I. précision de positionnement de niveau nanoradian: repoussez les limites du contrôle optique

Le miroir de déviation piézo - électrique de demain de noyau est basé sur l'effet piézo - électrique inverse de la céramique piézo - électrique, permettant une déviation précise sans frottement et sans différence de retour nulle grâce à une structure de guidage parallèle à charnières flexibles. Son principal avantage réside dans la résolution au niveau sous - microradian– –Par exempleP33Série réalisable0,02 μrad(environ0.004Précision de positionnement en secondes angulaires), équivalente à1L'erreur de chute du faisceau de contrôle sur la distance kilométrique ne dépasse pas2Millimètres. Ce niveau de précision en fait une communication Laser Satellite espace - terre/Dispositif de base pour le ciblage fin de liaison interstellaire: dans“Nuages de vent3numéroEÉtoile« etEntre autres projets, la technologie assure le contrôle de pointage du signal optique à l'échelle sous - microradiale sur des dizaines de milliers de kilomètres de transmission, fournissant un chemin optique stable pour la transmission de données à grande vitesse.

Dans le domaine de la lithographie des semi - conducteurs, la lithographie ultraviolette extrême (EUV), le processus est presque exigeant pour la stabilité du chemin optique. Le miroir de déflexion piézoélectrique de demain de noyau avec la capacité de contrôle de niveau de nanoradian peut corriger avec précision la déviation de chemin optique entre le Réticule et la tranche de silicium, contrôlant le taux de distorsion de motif de puce au niveau nanométrique. Les données de test de l'Université de technologie de Harbin montrent que son erreur de répétabilité de positionnement en boucle fermée est inférieure à0,05 μrad, bien au - delà de la précision de niveau micro - arc des miroirs vibrants traditionnels.

II. Réponse dynamique de niveau milliseconde: capacité de compensation plus rapide que la vitesse de la lumière

Face aux perturbations dynamiques telles que les vibrations de l'orbite du satellite, les perturbations de l'attitude de la plate - forme, le miroir de déviation piézoélectrique du noyau présente une vitesse de réponse de l'ordre de la milliseconde. àS37Série par exemple, dont le temps de réponse par étapes est uniquement0,8 ms, avec chargement200 gReste quand les lentilles15 msIntérieur complète la déviation de la course complète. Cette performance lui permet de compenser en temps réel la gigue du faisceau due aux vibrations spatiales dans les communications laser par satellite, assurant ainsi la stabilité de la liaison de communication.

Dans le domaine de l'usinage au laser, cette technologie résout les problèmes de précision de l'usinage microporeux. Contrôle de la direction du faisceau laser par une réponse de niveau nanoseconde, l'équipement de demain du noyau peut contrôler l'erreur d'ouverture dans±1μmÀ l'intérieur, la précision de distance de trou jusqu'à±5 μm, a été appliqué avec succès à l'usinage profilé des orifices de membrane d'air des aubes de turbine de moteurs aéronautiques.

Iii. Adaptabilité environnementale extrême: une garantie fiable au niveau spatial

Pour répondre aux besoins des applications spatiales, le noyau a développé demain une version sous vide à basse température du miroir de déviation piézoélectrique. Il utilise un processus d'emballage spécial et des composants de classe spatiale, qui peuvent être utilisés dans-40℃à+85℃Plage de température, degré de vide10⁻⁶PaTravail stable dans l'environnement. Dans“Père un« etProjet de satellite, l'équipement a résisté à l'épreuve du rayonnement intense et du cycle thermique dans l'espace, en fonctionnement continu2Année aucune atténuation de performance.

Les produits de qualité industrielle sont tout aussi fiables. Conception renforcée par sismique avec contrôle en boucle fermée complète,S37.T8La série est en10gReste sous choc vibratoire13,5mradPrécision de l'ordre du nanoradian dans la course de déflexion, a passé la norme de test de vibration de la méthode d'essai environnemental de l'équipement militaire.

Conception modulaire: articulation transparente du laboratoire à l'industrialisation

Core fournit la couverture demain0,5mradà20mradGamme de produits de série de la gamme de déflexion et de soutenir la personnalisation de la méthode de montage des lentilles (Collage/Préhension mécanique/Siège de chapeau personnalisé). DontE70Série de contrôleurs piézoélectriques intégrables5Contrôle de l'équipement, bande passante jusqu'à10 kHz, soutienCAN/EtherCATCommunication par bus. Pour la limitation spatiale des équipements de lithographie à semi - conducteurs,XD801-D1Plate - forme à six axes150 μmDéplacement et2mradCapacité de déflexion, réalisant l'intégration compacte du chemin optique à l'intérieur de la machine de lithographie.

Du laboratoire au site industriel, le noyau de demain aura un miroir de déviation piézoélectrique“Plus de précision, plus rapide, environnement plus stable« etLes caractéristiques techniques ont conduit à des percées dans la communication laser, la fabrication de précision, l'exploration spatiale et d'autres domaines. Comme il est dit:“Le contrôle de chaque nanoradian est un défi aux limites de la technologie.« etDans cette course au contrôle optique de précision, le noyau a pris la tête demain.