01Équipement de développement de la colle: le « gardien derrière les coulisses» du processus de lithographie

Dans la chaîne de lithographie de la fabrication de semi - conducteurs, l'équipement de développement de colle et la machine de lithographie doivent travailler ensemble pour réaliser un processus de lithographie de précision. Avant le processus d'exposition, la possibilité de coller enduit uniformément la colle photolithographique sur la surface de la plaquette; Une fois l'exposition terminée, le dispositif de développement traite alors la plaquette pour développer le motif lithographique formé par l'exposition. Exigences de performance de l'équipement pour l'ensemble du processusExtrêmement élevéLa réponse doit être terminée dans un délai de l'ordre de la milliseconde, tout en assurant la précision de fonctionnement à l'échelle nanométrique, afin de garantir la précision et la stabilité du processus de lithographie et, par conséquent, la qualité de fabrication des dispositifs semi - conducteurs.

1,Principe de l'équipement:

Lien de colle:Couvrir uniformément la colle photolithographique sur la surface de la plaquette par le type de revêtement par rotation ou par pulvérisation de colle, le type de revêtement par rotation est généralement divisé enRevêtement rotatif statique et revêtement rotatif dynamique, revêtement rotatif statique est goutte à goutte lorsque la plaque est au repos, le Carrousel entraîne la rotation de la plaque, terminer le processus de déglaçage, de solvant volatil; L'enduction par rotation dynamique est le goutte - à - goutte de la plaquette en effectuant une rotation à faible vitesse, puis en accélérant la rotation pour terminer le processus de dégraissage, de volatilisation du solvant. Le type de jet de colle est alors l'éjection de la colle photolithographique sur la surface de la plaquette sous la forme d'un "brouillard de colle" au moyen d'un dispositif de jet de colle à travers une bouche de colle qui effectue un mouvement aller - retour selon une trajectoire de déplacement spécifique.

Phase de développement: la plaquette après exposition est traitée par un liquide de développement, qui est généralement une solution acide ou basique qui peut dissoudre le photogel ou modifier ses propriétés physiques pour le rendre facile à enlever. Au cours du développement, la plaquette est immergée pendant un certain temps dans le liquide de développement qui réagit chimiquement avec la colle photolithographique,La Colle photolithographique non exposée est dissoute ou conservée, formant ainsi un motif correspondent à la plaque de masque.

2,Les principaux défis:

La clé du collage estBesoin de contrôler l'épaisseur et l'uniformité du film de colle, besoin de contrôle précis de la vitesse de rotation, point de chute de la colle et d'autres paramètres.

Pendant le développement, la précision de positionnement de la plaquette, l'uniformité de la pulvérisation du liquide de développement, affectent directement la précision de la largeur de ligne et la rugosité des bords du motif.

Exigences de contrôle ultra précis:La stabilité de la vitesse de rotation de la machine à coller doit être contrôlée dans une très petite plage pour garantir l'uniformité de l'épaisseur de la colle photolithographique

Précision du contrôle de la température:Le contrôle de la température de la cavité de cuisson doit atteindre avec précision des normes strictes avec une erreur ne dépassant pas 0,1 degré

Sécurité de traitement de disque:La plaquette doit rester stable lors de l'usinage et du transit entre les équipements, afin d'éviter les bris

Stabilité chimique:Les composants clés de l'équipement doivent résister à la corrosion à long terme par divers agents chimiques

02La nanotechnologie piézoélectrique dans un dispositif de développement de colle « grand coup de poing »

Avantages de la nanotechnologie piézoélectrique:

1. Résolution de positionnement à l'échelle nanométrique:Grâce à l'effet piézoélectrique inverse de la céramique piézoélectrique, le contrôle de déplacement à l'échelle nanométrique peut être adapté aux exigences nanométriques de l'épaisseur du film de colle pendant le processus de collage.

2. Réponse dynamique de niveau milliseconde:L'entraînement piézoélectrique n'a presque pas de jeu de transmission mécanique, le temps de réponse peut atteindre l'ordre de la milliseconde, peut coopérer avec un système de rétroaction en boucle fermée, suivre la rotation à grande vitesse de la plaquette en temps réel ou effectuer un positionnement rapide de la position de pulvérisation, éviter le décalage de motif causé par le décalage de mouvement.

3. Conception sans frottement et à faible Vibration:L'intérieur de la plate - forme Nano piézoélectrique adopte un mécanisme de guidage flexible à charnière sans frottement avec une faible usure mécanique. L'amplitude de vibration de fonctionnement est contrôlée dans la catégorie nanométrique, éliminant l'erreur de tremblement qui peut être causée par l'entraînement mécanique traditionnel, adapté aux exigences strictes de stabilité de la plaquette lors du développement.

03Core Tomorrow piézoélectrique nanotechnologie: injecter « l'âme de la précision» dans les dispositifs de développement de colle

Noyau MingTable de nanopositionnement diélectrique piézoélectrique

La table de nanopositionnement piézoélectrique est en céramique piézoélectrique comme source d'entraînement, combinée à un mécanisme de charnière flexible pour réaliser l'axe X, l'axe Z, l'axe XY, l'axe XZ, l'axe XYZ et le mouvement de précision à six axes de la plate - forme piézoélectrique, la forme d'entraînement contient le type de mécanisme d'entraînement direct en céramique piézoélectrique, le type de mécanisme d'amplification. La gamme de mouvement peut atteindre l'échelle millimétrique, avec une petite taille, aucun frottement, une vitesse de réponse rapide et d'autres caractéristiques, la configuration du capteur de haute précision, peut atteindre la résolution à l'échelle nanométrique et la précision de positionnement, le noyau demain piézoélectrique Nano table de positionnement joue un rôle crucial dans le domaine du positionnement de précision.

Table de positionnement Nano piézoélectrique six axes série h64

Série h64 ultra haute résolution piézoélectrique nanopositioning table est enLa céramique piézoélectrique comme source d'entraînement, combinée à un mécanisme à charnière flexible, peut réaliser une plate - forme piézoélectrique de mouvement de précision à six dimensions pour l'axe X, l'axe Y, l'axe Z, θx, θy et θz, la forme d'entraînement est un entraînement de type mécanisme amplifié. Disponible en version à boucle ouverte / fermée avec une précision de positionnement en boucle fermée allant jusqu'à 0,1% F.S., idéal pour les applications de positionnement de haute précision.

caractéristique

▲ X, y, Z, θx, θy, θz mouvement six axes

▲ optionnel avec capteur de rétroaction en boucle fermée

▲ Capacité de charge jusqu'à 10kg

▲ ultra haute résolution

Paramètres techniques

H64a.xyztr2s / K - C série six axes piézoélectrique Nano table de positionnement

La série h64a.xyztr2s / K - C est X, y, Z, θx, θy, θz six axes mouvement piézoélectrique Nano table de positionnement qui peut produire un mouvement ultra précis de six axes, adapté pour le positionnement statique et le réglage dynamique. Cette table de positionnement est conçue à l'intérieur avec un mécanisme parallèle qui permet une meilleure dynamique. Il est construit en céramique piézoélectrique haute performance qui permet un déplacement rectiligne de X ± 9 / y ± 9,5 / z155 μm et un angle de déflexion de θ x θ y ± 1,1 / θ Z ± 1 Mrad. La version en boucle fermée Full Bridge Design évite les dérives de température et assure une précision de positionnement à l'échelle nanométrique.

caractéristique

▲ Mouvement des axes X, y, Z, θx, θy, θz en six dimensions

▲ course en ligne droite: x ± 9 / y ± 9,5 / z155 μm

▲ course de déflexion: θ x θ y ± 1,1 / θ Z ± 1 mrad

▲ haute précision de positionnement en boucle fermée

▲ mécanisme parallèle à l'intérieur pour une meilleure dynamique

▲ charge jusqu'à 12kg

Paramètres techniques

Remarque: les paramètres ci - dessus sont mesurés avec le Contrôleur piézoélectrique e00.d6k04. La limite supérieure de la tension d'entraînement peut être de - 20v ~ 150v; Pour une utilisation à long terme fiable et élevée, la tension de conduite recommandée est de 0 ~ 120V.

Noyau demain actionneur en céramique piézoélectrique

Dans le processus de développement de la colle, l'actionneur en céramique piézoélectrique peut être contrôlé avec précision: précision d'ouverture de la vanne, quantité de colle pulvérisée et réglage fin de la transmission de la plaquette, etc. Les actionneurs en céramique piézoélectrique Core Tomorrow ont un temps de réponse extrêmement rapide de l'ordre de la microseconde, des fréquences allant jusqu'à plusieurs milliers de Hertz et un déplacement de l'ordre du micron, assurant la stabilité du processus de l'appareil à grande vitesse.

Actionneur piézoélectrique colonne

L'actionneur piézo - électrique de colonne est en Encapsulant l'empilement de céramique piézo - électrique à l'intérieur, l'extérieur est protégé par un boîtier en acier inoxydable de colonne et applique une force de précontrainte à l'empilement de céramique piézo - électrique par un boîtier mécanique, une force de précontrainte mécanique interne plus élevée peut être adaptée aux applications à haute charge et à haute dynamique. Il peut produire le déplacement et la force générée par l'empilement de céramique piézoélectrique et peut résister à une certaine traction.

√ structure de conduite directe:

L'actionneur en céramique piézo - électrique adopte une structure en céramique piézo - électrique à entraînement direct, caractérisée par une force de sortie élevée et une vitesse de réponse rapide, avec des capteurs en option pour la rétroaction en boucle fermée. Dans le haut et le bas de l'actionneur en céramique piézoélectrique encapsulé sont fixés par filetage respectivement, le mode de fixation peut être personnalisé, comme filetage externe, filetage interne, tête à billes, tête plate, etc.

caractéristique

▲ résolution à l'échelle nanométrique

▲ peut résister à une certaine pression

▲ haute précision en boucle fermée

▲ déplacement jusqu'à 190 μm

▲ jusqu'à 25000 n

Paramètres techniques

Actionneur piézoélectrique de type joint métallique

L'actionneur piézoélectrique de type joint métallique est entièrement scellé en raison du boîtier, ce qui permet d'obtenir une isolation de l'environnement atmosphérique, qui à son tour est moins affecté par l'humidité ambiante, a une durée de vie plus longue et des performances plus élevées, idéal pour diverses applications telles que les équipements de fabrication de dispositifs semi - conducteurs et les équipements de communication optique nécessitant une grande fiabilité.

caractéristique

▲ haute fiabilité: MTTF = 36000 heures peut être atteint à 85 ℃ et 100V

▲ nanolocalisation précise

▲ minimisation de l'usure mécanique

▲ température de fonctionnement: - 25 ℃ ~ + 85 ℃ ou - 40 ℃ ~ + 150 ℃

▲ sortie de force jusqu'à 3600n

▲ tension d'entraînement: 0 ~ 150v

▲ mécanisme de précharge intégré et accessoires de montage pour une installation facile dans l'appareil

Remarque: MTTF (mean time to Failures) est le temps moyen avant l'expiration.

Exemples de modèles

H550c801wd1 - a0lf est l'un des nombreux modèles de l'actionneur piézoélectrique Core Tomorrow Metal Seal, sa course peut atteindre 55 μm, la force de sortie peut atteindre 800 N, les performances de haut niveau le rendent très approprié pour l'entraînement de la vanne de contrôle de débit de fluide, répondant aux exigences de haute fiabilité et de haute précision des composants d'entraînement de la vanne de contrôle de débit de fluide. (plusieurs autres modèles sont disponibles et la personnalisation des paramètres est prise en charge.)

Paramètres techniques

Plus de détails bienvenue au noyau demainNous!