Dans la fabrication de semi - conducteurs, l'analyse en laboratoire, la pétrochimie et d'autres domaines industriels, le contrôle précis de la pression du gaz est directement lié à la stabilité du processus et à la qualité du produit.GR11La série de réducteurs de pression spéciaux en acier inoxydable est un composant central des systèmes d'alimentation en gaz dans ces domaines grâce à sa conception de haute précision et de haute fiabilité. Cet article analysera les avantages techniques de cette série de produits en termes de conception structurelle, de sélection des matériaux, de paramètres de performance et de scénarios d'application typiques.

I. structure de décompression à un étage: garantie de base pour une sortie stable

GR11La série utilise une conception de décompression à un étage pour la régulation de la pression grâce à l'ajustement précis du diaphragme avec le siège. Son principe de fonctionnement est le suivant: le gaz à haute pression entre dans le corps de la vanne par l'entrée d'air, la membrane contrôle la pression de sortie par le changement d'ouverture du tiroir sous l'équilibre dynamique de la force du ressort et de la pression du gaz. Par rapport à la structure à deux étages, la conception à un étage a une vitesse de réponse plus rapide (≤ 0,1Secondes) et moins de perte de pression (≤ 5%), en particulier pour des scénarios tels que la gravure de semi - conducteurs sensibles aux fluctuations de pression, l'analyse par chromatographie en phase gazeuse, etc.

La construction scellée dure est un autre grand point culminant de la série. Le diaphragme avec la surface de contact de la mère adopte un joint dur métal sur métal, coopèrePCTFE/PTFE/Vespel®Matériau de siège de valve de haute performance, en-40℃à74℃Maintenir zéro fuite dans un large domaine de température (taux de fuite≤2×10 ⁻⁸ atm·cc/sec Il), bien au - dessus des normes de l'industrie (généralement1×10⁻⁶ atm·cc/seconde). Cette conception évite efficacement les problèmes de vieillissement des matériaux d'étanchéité souples dans des environnements gazeux corrosifs et prolonge la durée de vie de l'équipement.

II. Amélioration des matériaux: Double garantie de résistance à la corrosion et de haute pureté

Le matériau maternel fournit le placage de cuivre avec316LDeux options en acier inoxydable. Version plaquée cuivre (commedu GR11B), adapté aux gaz industriels généraux, moins coûteux;316LVersions en acier inoxydable (telles queGR11SL), alors conçu pour le chlore, le fluorure d'hydrogène et d'autres gaz corrosifs forts, son nombre équivalent de résistance à la corrosion par piqûres (Prén) et≥ 34Il peut encore maintenir des performances stables dans un environnement contenant des ions chlorure. Matériau du diaphragme mis à niveau vers316LEn acier inoxydable ouHastelloy® C-276Hastelloy, ce dernier en650℃Les éléments suivants ont une excellente résistance à la corrosion contre l'acide sulfurique, l'acide chlorhydrique et d'autres acides forts, pour répondre aux gaz ultra - Purs de l'industrie des semi - conducteurs (tels que9NArgon grade) des exigences de transport.

Le matériau du Siège de valve est conçu en couches:PCTFEAdapté à-200℃à150℃Environnement à basse température;PTFESupportable260℃Haute température;Jouer la file d'attente ® Modèle SP - 1La résistance à l'usure et la stabilité chimique sont prises en compte et la durée de vie est augmentée dans le scénario de démarrage et de fermeture à haute fréquence.3Le multiple. Cette conception modulaire permet à l'utilisateur de choisir les composants de manière flexible en fonction des caractéristiques du gaz.

Iii. Paramètres de performance de base: technologie de contrôle de précision

Gamme de pression: couverture de pression d'entrée500 à 4000psig(34,5-276bar), pression de sortie0 à 500 psig(0 à 34,5 bar), réglable pour répondre au petit débit du laboratoire (0,1SCFH) aux grands flux industriels (1000SLM) des besoins.

Caractéristiques du flux:CVvaleur0.14(du GR11B) à0.28(GR11SL), réglable, courbe de chute de pression de débit plat, dans50% - 100%Fluctuations de pression de sortie dans la plage de débit≤ ± 1%- Oui.

Conception de sécurité: la pression de sécurité est réglée sur1.5Pression d'entrée maximale multipliée (par ex.6000psig), équipé d'un disque de rupture et d'une double protection avec une soupape de sécurité mécanique. Lorsque la pressionForce ultra limitée, disque de ruptureDans0.001Décompression de rupture en secondes pour éviter les dommages à l'équipement.

Précision du filtrage: intégré10μm 316LMaille filtrante en acier inoxydable, interceptable99,97%de0,3 μmAu - dessus des particules pour assurer la pureté du gaz aux exigences de l'industrie des semi - conducteurs5NNiveau (99999%).

Iv. Scénarios d'application typiques

1. Processus de fabrication des semi - conducteurs

2. Laboratoire

3. Analyse en phase gazeuse

4. Instruments d'essai

5. Industrie pétrochimique

6. Équipement de centrale électriqueTravailleurs